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MoCVD 흑연 트레이를 선택하는 방법?


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질문 1 : MOCVD 흑연 트레이 란 무엇이며 에피 택셜 프로세스에 왜 그렇게 중요한가?


MOCVD 흑연 트레이 또는 MOCVD 흑연 감수자로도 알려진 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 흑연 플레이트는 상피 성장 동안 반도체 웨이퍼를 고정하는 데 사용되는 고급 성분입니다. 에피 택셜 프로세스에서, 그것은 가열 요소로 작용하고 균일 한 온도 분포를 보장하며, 이는 고급 반도체 장치, LED 제조 및 태양 전지와 같은 응용 분야에 박막을 퇴적하는 데 상호 대체 할 수없는 역할을합니다.


흑연 트레이는 극심한 온도 (최대 1,800 ° C)와 부식성 가스 환경을 견딜 수있어 고온, 부식 방지 MOCVD 시스템에 없어서는 안될 재료가됩니다. 성능은 프로세스 일관성 및 웨이퍼 수율에 직접적인 영향을 미칩니다.


질문 2 : MoCVD 흑연 트레이를 선택할 때 어떤 재료 특성을 우선 순위로 설정해야합니까?


올바른 흑연 플레이트를 선택하려면 물리적 및 화학적 특성을 평가해야합니다.


● 고순도 (99.999%이상) :

일반적으로 금속이나 재와 같은 불순물은 에피 택셜 과정을 오염시킬 수 있습니다. Veteksemicon과 같은 고급 흑연 감수자 공급 업체를 선택하면 반도체 에피 층에서 최소한의 결함이 있습니다.


●  우수한 열 안정성 :

실제 가공 중에, 흑연 플레이트는 특정 열 충격을 견딜 수 있고 빠른 온도 사이클에서 구조적 무결성을 유지할 수 있어야합니다. Veteksemicon 고밀도 흑연은 균일 한 열 분포를 보장하며, 이는 균일 한 필름 성장에 중요합니다.


●  우수한 부식 저항 :

MOCVD 공정 환경에서, 흑연은 일반적으로 부식성 가스 (예 : 암모니아, 수소)에 노출된다. 미세 입자 구조를 갖는 고온 부식성 MoCVD 흑연 플레이트는 부식을 최소화하고 서비스 수명을 연장합니다.


●  고성능 기계적 강도 :

에피 택셜 과정에서 MoCVD 흑연 트레이는 뒤틀지 않고 여러 웨이퍼를지지해야합니다. 실제 처리에서 Veteksemicon의 통계에 따르면, 흑연 플레이트의 굽힘 강도는 트레이의 균열을 방지하기 위해 50 MPa 이상이어야합니다.

MOCVD epitaxial wafer susceptor


Q3 : 응용 프로그램 시나리오가 MoCVD 흑연 트레이의 선택에 어떤 영향을 미칩니 까?


다양한 MOCVD 프로세스에는 맞춤형 흑연 플레이트 설계가 필요합니다.


●  LED/Photonics의 에피 택셜 성장 :

매우 매끄럽고 MoCVD 흑연 플레이트는 입자 생성을 줄이고 결함이없는 층을 보장하기 위해 에피 택시 공정에서 사용됩니다.

예를 들어, Veteksemicon mocvd 흑연 플레이트 (또는 MoCVD 용 Veteksemicon 흑연 플레이트)는 GAN 및 GAAS 에피 택시를 위해 설계되었으며 최적화 된 열 관리를 제공합니다.


●  전력 반도체 제조 :

Semikera semiconductor의 실험 통계와 결합 된 산화성 향상된 플레이트는 일반적으로 실리콘 카바이드 (SIC) 또는 질화물 (GAN) 공정에서 선호됩니다.


●  고 처리량 생산 :

멀티 웨이퍼 트레이는 반응기 설계와 정렬하려면 정확한 처리가 필요합니다. 신뢰할 수있는 공급 업체 Semikera Semiconductor의 사용자 정의 가능한 MoCVD 흑연 트레이는 특정 도구 구성과 일치 할 수 있습니다.


Q4 : 신뢰할 수있는 MoCVD 흑연 플레이트 공급 업체를 찾는 데있어 주요 고려 사항은 무엇입니까?


●  인증 및 테스트 :

공급 업체가 재료 인증 (예 : 순도 보고서, 밀도 테스트)을 제공하고 사후 처리 표면 처리 (예 : 다공성을 줄이기위한 코팅)를 제공하는지 확인하십시오. 주요 중국 반도체 코팅 및 에피 택셜 공정 장비 제조업체로서 Veteksemicon MoCVD 흑연 판은 정부 부서에서 엄격한 한계 실험을 위해 인증을 받았으며, 제품의 순도 및 밀도 테스트 결과는 동료보다 훨씬 앞서 있습니다.


●  사용자 정의 기능 :

최고 고급 흑연 감수자 공급 업체는 원자로 요구 사항을 충족하기 위해 크기, 홀 패턴 및 코팅을 사용자 정의해야합니다. Veteksemicon과 Semikera semiconductor는 관련 제품 및 기술의 사용자 정의 서비스 기능을 보유하고 있으며 다양한 맞춤형 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.


●  수명 및 비용 효율성 :

저렴한 흑연은 선불 비용을 절약 할 수 있지만 열등한 흑연 플레이트는 자주 교체 및 가동 중지 시간으로 이어져 정상 생산 효율에 심각한 영향을 미칩니다. Veteksemicon 흑연 판 및 기타 품질 제품을 선택하면 비즈니스가 장기적인 신뢰할 수있는 생산을 달성 할 수 있습니다.


Q5 : MoCVD 흑연 트레이의 서비스 수명을 연장하는 방법은 무엇입니까?


●  산화를 방지하십시오: 난방/냉각 사이클 동안 비활성 가스 퍼지를 사용하십시오.

●  정기적으로 청소하십시오: 퇴적 된 잔류 물을 제거하기 위해 비 주제 방법 (예 : 건조 에칭)을 사용하십시오.

●  기계적 스트레스를 피하십시오: 웨이퍼 로딩/언로드 중에 트레이를 조심스럽게 처리합니다.


Veteksemicon의 최고의 조언 :


고온 부식에 내성이있는 MoCVD 흑연 플레이트의 경우, 공급 업체에게 반도체 등급 재료에 대한 전문 지식을 제공하십시오.

실제 공정 조건에서 샘플을 테스트하여 성능을 확인하십시오.

고급 코팅 (예 : SIC 코팅, TAC 코팅)을 탐색하여 극한 환경에서 내구성과 신뢰성을 향상시킵니다.


SIC 코팅 MOCVD 흑연 플레이트에 대한 자세한 내용은 여기를 클릭하십시오.


TAC 코팅 MOCVD 흑연 플레이트에 대한 자세한 내용은 여기를 클릭하십시오.


CVD TaC coating planetary SiC epitaxial susceptor

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