SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자

SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자는 코어 베어링 구성 요소입니다.MOCVD (금속 유기 화학 증기 증착) 장비. 감수자는 특히 알루미늄 함량이 높은 알루미늄 (ALN) 에피 택셜 층의 성장에서 균일 성, 두께 제어 및 깊은 UV LED 에피 택시 성장의 재료 품질에 직접 영향을 미칩니다. 감수자의 설계 및 성능은 중요합니다.

SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자는 심층 UV LED 에피 택시에 특별히 최적화되어 있으며, 엄격한 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 열, 기계적 및 화학적 환경 특성을 기반으로 정확하게 설계되었습니다.

Vetek 반도체는 고급 가공 기술을 사용하여 작동 온도 범위 내에서 감수체의 균일 한 열 분포를 보장하여 온도 구배로 인한 에피 택셜 층의 불균일 성장을 피합니다. 정밀 처리는 표면 거칠기를 제어하고, 입자 오염을 최소화하며, 웨이퍼 표면 접촉의 열전도율 효율을 향상시킵니다.

Vetek 반도체는 SGL 흑연을 재료로 사용하며 표면은CVD SIC 코팅NH3, HCL 및 고온 분위기를 오랫동안 견딜 수 있습니다. Vetek 반도체의 SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자는 ALN/GAN 에피 택시 웨이퍼의 열 팽창 계수와 일치하여 공정 동안 열 응력으로 인한 웨이퍼 뒤틀림 또는 균열을 감소시킵니다.

가장 중요한 것은 Vetek Semiconductor의 SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자가 주류 MOCVD 장비 (Veeco K465I, Epik 700, Aixtron Crius 등)에 완벽하게 적응합니다. 웨이퍼 크기 (2 ~ 8 인치), 웨이퍼 슬롯 설계, 프로세스 온도 및 기타 요구 사항에 대한 맞춤형 서비스를 지원합니다.

응용 프로그램 시나리오 :

● 깊은 UV LED 준비: 260 nm 미만의 대역에서 장치의 에피 택셜 프로세스에 적용 할 수 있습니다 (UV-C 소독, 멸균 및 기타 필드).

● 질화물 반도체 에피 택시: 질화 갈륨 (GAN) 및 질화 알루미늄 (ALN)과 같은 반도체 물질의 에피 덱스 제조에 사용됩니다.

● 연구 수준 에피 택셜 실험: 대학 및 연구 기관의 깊은 UV 에피 택시 및 새로운 재료 개발 실험.

강력한 기술 팀의 지원으로 Vetek Semiconductor는 고객 요구에 따라 고유 한 사양과 기능을 갖춘 감수자를 개발하고 특정 생산 프로세스를 지원하며 장기 서비스를 제공 할 수 있습니다.

CVD SIC 코팅 필름의 SEM 데이터 :

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

반도체SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자 제품 상점 :