MoCVD 감수자에 대해 알고 있습니까?

MOCVD (Metal-Organic Chemical vapor 증착) 공정에서, 구제기는 웨이퍼를지지하고 증착 공정의 균일 성 및 정확한 제어를 보장하는 핵심 구성 요소입니다. 재료 선택 및 제품 특성은 에피 택셜 프로세스의 안정성과 제품의 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.

MOCVD 지원(금속 유기 화학 증기 증착)는 반도체 제조의 핵심 공정 성분입니다. 주로 박막 증착의 웨이퍼를지지하고 가열하기 위해 MoCVD (금속 유기 화학 증기 증착) 공정에 주로 사용됩니다. 슈셉터의 설계 및 재료 선택은 최종 제품의 균일 성, 효율성 및 품질에 중요합니다.

제품 유형 및 재료 선택 :

MoCVD 감수자의 설계 및 재료 선택은 다양하며 일반적으로 공정 요구 사항 및 반응 조건에 의해 결정됩니다.다음은 일반적인 제품 유형과 재료입니다:

SIC 코팅 감수기(실리콘 카바이드 코팅 감수자):

설명 : 흑연 또는 기타 고온 물질을 기판으로 사용하는 SIC 코팅 및 표면의 CVD SIC 코팅 (CVD SIC 코팅)이있는 감수자.

적용 : 고온 및 고 부식성 가스 환경, 특히 실리콘 에피 택시 및 화합물 반도체 증착에서 MoCVD 공정에서 널리 사용됩니다.

TAC 코팅 서브어:

설명 : 메인 재료로서 TAC 코팅 (CVD TAC 코팅)이있는 감수자는 경도가 매우 높고 화학적 안정성이 매우 높으며 매우 부식성 환경에서 사용하기에 적합합니다.

적용 : 질화 갈륨 (GAN) 및 갈륨 아르 세 나이드 (GAA)의 침착과 같은 더 높은 부식성 및 기계적 강도가 필요한 MoCVD 공정에 사용됩니다.

MOCVD 용 실리콘 카바이드 코팅 흑연 감수자:

설명 : 기판은 흑연이며 표면은 고온에서 안정성과 장수를 보장하기 위해 CVD SIC 코팅 층으로 덮여 있습니다.

적용 : 고품질 화합물 반도체 재료를 제조하기 위해 Aixtron MoCVD 반응기와 같은 장비에 사용하기에 적합합니다.

EPI 지원 (Epitaxy Supporter):

설명 : 에피 택셜 성장 공정을 위해 특별히 설계된 감수자, 일반적으로 SIC 코팅 또는 TAC 코팅을 사용하여 열전도율 및 내구성을 향상시킵니다.

적용 : 실리콘 에피 택시 및 화합물 반도체 에피 택시에서는 웨이퍼의 균일 한 가열 및 증착을 보장하는 데 사용됩니다.

반도체 처리에서 MOCVD에 대한 감수자의 주요 역할:

웨이퍼 지지대 및 균일 한 가열:

기능 : 감수자는 MOCVD 반응기의 웨이퍼를지지하고 유도 가열 또는 균일 한 필름 증착을 보장하기위한 다른 방법을 통해 균일 한 열 분포를 제공하는 데 사용됩니다.

열 전도 및 안정성:

기능 : 감수체 재료의 열전도성 및 열 안정성이 중요합니다. SIC 코팅 감수기 및 TAC 코팅 된 감수자는 높은 열전도율과 고온 저항으로 인해 고온 공정에서 안정성을 유지하여 고르지 않은 온도로 인한 필름 결함을 피할 수 있습니다.

부식성과 장수:

기능 : MOCVD 공정에서 감수체는 다양한 화학 전구체 가스에 노출됩니다. SIC 코팅 및 TAC 코팅은 탁월한 내식성 저항성을 제공하고, 재료 표면과 반응 가스 사이의 상호 작용을 줄이고, 감수자의 서비스 수명을 연장시킨다.

반응 환경의 최적화:

기능 : 고품질 감수기를 사용함으로써 MoCVD 반응기의 가스 흐름 및 온도 필드는 최적화되어 균일 한 필름 증착 공정을 보장하고 장치의 수율 및 성능을 향상시킵니다. 일반적으로 MoCVD 반응기 및 Aixtron MoCVD 장비의 감수자에 사용됩니다.

제품 기능 및 기술적 장점：

높은 열전도율 및 열 안정성:

특징 : SIC 및 TAC 코팅 된 감수자는 열전도율이 매우 높으며 열 전도도를 빠르고 균일하게 분배 할 수 있으며 고온에서 구조적 안정성을 유지하여 웨이퍼의 균일 한 가열을 보장합니다.

장점 : 질화 갈륨 (GAN) 및 갈륨 비소 (GAA)와 같은 화합물 반도체의 에피 택시 성장과 같은 정확한 온도 제어가 필요한 MOCVD 공정에 적합합니다.

탁월한 부식 저항:

특징 : CVD SIC 코팅 및 CVD TAC 코팅은 매우 높은 화학적 불활성을 가지며 염화물 및 불소와 같은 고 부식성 가스의 부식에 저항하여 감수자의 기질을 손상으로부터 보호 할 수 있습니다.

장점 : 감수자의 서비스 수명을 연장하고 유지 보수 빈도를 줄이며 MOCVD 프로세스의 전반적인 효율을 향상시킵니다.

높은 기계적 강도와 경도:

특징 : SIC 및 TAC 코팅의 높은 경도 및 기계적 강도는 감수자가 고온 및 고압 환경에서 기계적 응력을 견딜 수있게하고 장기 안정성과 정밀도를 유지할 수 있습니다.

장점 : 특히 에피 택셜 성장 및 화학 증기 증착과 같은 높은 정밀도가 필요한 반도체 제조 공정에 특히 적합합니다.

시장 적용 및 개발 전망

MoCVD 감수자고 가중도 LED, 전력 전자 장치 (예 : GAN 기반 헴), 태양 전지 및 기타 광전자 장치 제조에 널리 사용됩니다. 성능이 높아지고 전력 소비량이 낮은 반도체 장치에 대한 수요가 증가함에 따라 MoCVD 기술은 지속적으로 발전하여 감수자 재료와 설계의 혁신을 주도합니다. 예를 들어, 순도가 높고 결함 밀도가 낮은 SIC 코팅 기술을 개발하고 감수자의 구조적 설계를 최적화하여 더 큰 웨이퍼와 더 복잡한 다층 에피 택셜 프로세스에 적응합니다.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd는 반도체 산업을위한 고급 코팅 재료의 선도적 인 공급 업체입니다. 우리 회사는 업계의 최첨단 솔루션 개발에 중점을 둡니다.

우리의 주요 제품에는 CVD 실리콘 카바이드 (SIC) 코팅, 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅, 벌크 SIC, SIC 파우더 및 고급 SIC 재료, SIC 코팅 흑연 감수자, 예열 링, 예열 링, 하프문 부품 등이 포함됩니다.

Vetek 반도체는 반도체 산업을위한 최첨단 기술 및 제품 개발 솔루션 개발에 중점을 둡니다. 우리는 진심으로 중국에서 당신의 장기 파트너가되기를 바랍니다.