CVD SIC 코팅 스커트

Vetek Semiconductor는 중국의 CVD SIC 코팅 스커트의 주요 제조업체이자 리더입니다. 당사의 주요 CVD SIC 코팅 제품에는 CVD SIC 코팅 스커트, CVD SIC 코팅 링이 포함됩니다. 연락을 기대합니다.

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제품 설명

Vetek Semiconductor는 중국의 CVD SiC 코팅 스커트 전문 제조업체입니다.

Aixtron 장비의 심자외선 에피택시 기술은 반도체 제조에서 중요한 역할을 합니다. 이 기술은 심자외선 광원을 이용해 에피택셜 성장을 통해 웨이퍼 표면에 다양한 물질을 증착해 웨이퍼 성능과 기능을 정밀하게 제어하는 기술이다. 심자외선 에피택시 기술은 LED부터 반도체 레이저까지 다양한 전자 장치 생산을 포괄하는 광범위한 응용 분야에 사용됩니다.

이 공정에서는 CVD SiC 코팅 스커트가 중요한 역할을 합니다. 에피택셜 시트를 지지하고 에피택셜 시트를 회전시켜 에피택셜 성장 중에 균일성과 안정성을 보장하도록 설계되었습니다. 흑연 서셉터의 회전 속도와 방향을 정밀하게 제어함으로써 에피택셜 캐리어의 성장 과정을 정확하게 제어할 수 있습니다.

이 제품은 고품질 흑연 및 실리콘 카바이드 코팅으로 만들어져있어 탁월한 성능과 긴 서비스 수명을 보장합니다. 수입 흑연 재료는 제품의 안정성과 신뢰성을 보장하여 다양한 작업 환경에서 잘 수행 할 수 있도록합니다. 코팅 측면에서, 5ppm 미만의 실리콘 카바이드 재료를 사용하여 코팅의 균일 성 및 안정성을 보장합니다. 동시에, 새로운 공정과 흑연 재료의 열 팽창 계수는 양호한 일치를 형성하고, 제품의 고온 저항과 열 충격 저항을 개선하여 고온 환경에서 여전히 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다.