TAC 코팅이있는 MoCVD 감수자

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LED 에피택시는 결정 품질 관리, 재료 선택 및 매칭, 구조 설계 및 최적화, 공정 제어 및 일관성, 광 추출 효율성과 같은 과제에 직면해 있습니다. 올바른 에피택시 웨이퍼 캐리어 재료를 선택하는 것이 중요하며 탄탈륨 카바이드(TaC) 박막으로 코팅(TaC 코팅)하면 추가적인 이점을 얻을 수 있습니다.

에피 택시 웨이퍼 캐리어 재료를 선택할 때 몇 가지 주요 요인을 고려해야합니다.

● 온도 내성 및 화학적 안정성: LED 에피택시 공정에는 고온이 수반되며 화학 물질을 사용할 수 있습니다. 따라서 고온 및 화학적 환경에서 캐리어의 안정성을 보장하려면 온도 내성과 화학적 안정성이 우수한 재료를 선택해야 합니다.

● 표면 평탄도 및 내마모성: 에피 택시 웨이퍼 캐리어의 표면은 에피 택시 웨이퍼의 균일 한 접촉과 안정적인 성장을 보장하기 위해 평탄도가 우수해야합니다. 또한 표면 손상과 마모를 방지하려면 내마모성이 중요합니다.

● 열 전도성: 열전도율이 좋은 소재를 선택하면 열을 효과적으로 방출하여 에피택시층의 안정적인 성장 온도를 유지하고 공정 안정성과 일관성을 향상시킵니다.

이와 관련하여 에피택시 웨이퍼 캐리어를 TaC로 코팅하면 다음과 같은 이점이 있습니다.

● 고온 안정성: TaC 코팅은 고온 안정성이 뛰어나 고온 에피택시 공정에서도 구조와 성능을 유지하며 우수한 내열성을 제공합니다.

● 화학적 안정성: TAC 코팅은 일반적인 화학 물질 및 대기로부터의 부식에 내성이 있으며, 캐리어를 화학적 분해로부터 보호하고 내구성을 향상시킨다.

● 경도 및 내마모성: TaC 코팅은 높은 경도와 내마모성을 가지고 있어 에피택시 웨이퍼 캐리어의 표면을 강화시켜 손상과 마모를 줄이고 수명을 연장시킵니다.

● 열 전도성: TaC 코팅은 우수한 열전도도를 나타내어 방열에 도움을 주며, 에피택시층의 안정적인 성장온도를 유지시켜 공정의 안정성과 일관성을 향상시킵니다.

따라서 TAC 코팅을 갖는 에피 택시 웨이퍼 캐리어를 선택하면 LED 에피 택시의 문제를 해결하여 고온 및 화학 환경의 요구 사항을 충족시킵니다. 이 코팅은 고온 안정성, 화학적 안정성, 경도 및 내마모성 및 열전도율과 같은 이점을 제공하여 Epitaxy Wafer 캐리어의 성능 향상, 수명 및 생산 효율에 기여합니다.