TAC 코팅이란 무엇입니까? - Vetek 반도체

TAC 코팅 (탄탈 룸 카바이드 코팅)는 화학 증기 증착 (CVD) 공정에 의해 생성 된 고성능 코팅 재료이다. 극한 조건 하에서 TAC 코팅의 우수한 특성으로 인해 반도체 제조 공정, 특히 고온과 강한 부식성 환경이 필요한 장비 및 구성 요소에서 널리 사용됩니다. TAC 코팅은 일반적으로 기판 (예 : 흑연 또는 세라믹)이 고온, 부식 가스 및 기계 마모로 손상을 방지하는 데 사용됩니다.

TAC 코팅의 물리적 특성

제품 기능 그리고 장점

● 매우 높은 열 안정성:

기능 설명 : TAC 코팅은 3880 ° C 이상의 용융점이 있으며 매우 고온 환경에서 분해 또는 변형없이 안정성을 유지할 수 있습니다.

장점 : 이는 CVD TAC 코팅 및 TAC 코팅 감수자와 같은 고온 반도체 장비, 특히 Aixtron G5 장비와 같은 MOCVD 반응기의 응용 분야에서 필수 물질로 만들어집니다.

● 탁월한 부식 저항:

기능 설명 : TAC는 화학적 불활성이 매우 강하며 염화물 및 불소와 같은 부식성 가스의 침식에 효과적으로 저항 할 수 있습니다.

장점 : 부식성이 높은 화학 물질과 관련된 반도체 공정에서 TAC 코팅은 화학 공격으로부터 장비 부품을 보호하고 서비스 수명을 연장하며 특히 실리콘 탄화물 웨이퍼 보트 및 기타 주요 구성 요소의 적용에서 프로세스 안정성을 향상시킵니다.

● 우수한 기계적 경도:

기능 설명 : TAC 코팅의 경도는 9-10 MOH만큼 높아서 기계식 마모 및 고온 응력에 저항력이 있습니다.

장점 : 높은 경도 특성은 TAC 코팅이 특히 높은 마모 및 높은 응력 환경에서 사용하기에 특히 적합하여 가혹한 조건에서 장비의 장기 안정성과 신뢰성을 보장합니다.

● 낮은 화학 반응성:

기능 설명 : 화학적 불활성으로 인해 TAC 코팅은 고온 환경에서 낮은 반응성을 유지하고 반응성 가스와의 불필요한 화학 반응을 피할 수 있습니다.

장점 : 이것은 공정 환경의 순도와 고품질 재료 증착을 보장하기 때문에 반도체 제조 공정에서 특히 중요합니다.

반도체 처리에서 TAC 코팅의 역할

● 주요 장비 구성 요소 보호:

기능 설명 : TAC 코팅은 극한 조건에서 작동 해야하는 TAC 코팅 감수기와 같은 반도체 제조 장비의 주요 구성 요소에서 널리 사용됩니다. TAC로 코팅함으로써, 이들 부품은 손상되지 않고 고온 및 부식성 가스 환경에서 장기간 작동 할 수있다.

● 장비 수명을 연장하십시오:

기능 설명 : Aixtron G5와 같은 MoCVD 장비에서 TAC 코팅은 장비 구성 요소의 내구성을 크게 향상시키고 부식 및 마모로 인해 장비 유지 보수 및 교체의 필요성을 줄일 수 있습니다.

● 프로세스 안정성을 향상시킵니다:

기능 설명 : 반도체 제조에서 TAC 코팅은 안정적인 고온 및 화학 환경을 제공하여 증착 공정의 균일 성과 일관성을 보장합니다. 이것은 실리콘 에피 택시 및 질화 갈륨 (GAN)과 같은 에피 택셜 성장 과정에서 특히 중요합니다.

● 프로세스 효율성을 향상시킵니다:

기능 설명 : 장비 표면의 코팅을 최적화함으로써 TAC 코팅은 공정의 전반적인 효율을 향상시키고 결함 속도를 줄이며 제품 수율을 증가시킬 수 있습니다. 이는 고정밀, 고급 반도체 재료의 제조에 중요합니다.

반도체 처리 동안 TAC 코팅에 의해 나타나는 높은 열 안정성, 우수한 내식성, 기계적 경도 및 낮은 화학 반응성은 반도체 제조 장비 구성 요소를 보호하기위한 이상적인 선택입니다. 반도체 산업의 고온, 고순도 및 효율적인 제조 공정에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 TAC 코팅은 CVD TAC 코팅, TAC 코팅 감수기 및 Aixtron G5와 관련된 장비 및 공정에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있습니다.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd는 반도체 산업을위한 고급 코팅 재료의 선도적 인 공급 업체입니다. 우리 회사는 업계의 최첨단 솔루션 개발에 중점을 둡니다.

우리의 주요 제품 제품에는 포함됩니다CVD 실리콘 카바이드 (SIC) 코팅, 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅, 벌크 SIC, SIC 분말 및 고급 SIC 재료, SIC 코팅 된 흑연 감수자, 예열 링, TAC 코팅 전환 링, 하프문 부품 등의 순도는 5ppm 미만으로 고객 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

Vetek 반도체는 반도체 산업을위한 최첨단 기술 및 제품 개발 솔루션 개발에 중점을 둡니다.우리는 진심으로 중국에서 당신의 장기 파트너가되기를 바랍니다..