다공성 흑연 가이드 링

핵심 제품 장점

1. 초고순도 & 저결함 보증

3000℃ 진공 고온 정제 공정을 채택하여 산소, 질소 등 비금속 불순물을 깊게 제거하여 제품 순도를 99.9995% 이상으로 높입니다. 소스에서 불순물로 인한 결정 결함(예: 미세소관, 전위)을 제거하여 SiC 단결정의 전기적 특성의 일관성과 안정성을 보장하고 고품질 결정 성장을 위한 견고한 기반을 마련합니다.

2. 초고온 안정성 및 정밀한 열장 조절

아르곤 또는 진공 환경에서 2200℃의 극한 고온을 견딜 수 있으며, 연화나 변형 없이 1000시간 이상 지속적이고 안정적으로 작동합니다. 이 제품은 열팽창 계수가 낮아 열 응력으로 인한 재료 균열을 효과적으로 방지할 수 있습니다. 기공률(15~30%)의 기울기 분포 설계를 지원하고 CFD(전산유체역학) 시뮬레이션 기술을 결합하여 기공 크기(10~200μm)를 최적화하여 온도 기울기 변동을 ±3℃ 이내로 제어하고 열장 균일성과 결정 성장 일관성을 대폭 향상시킵니다.

3. 맞춤형 적응 및 전체 시나리오 만족도

• 기하학적 형상 적응: 고객의 용광로 구조에 따라 환형 배럴 및 다층 실드 구조와 같은 복잡한 형상을 정확하게 처리하여 완벽한 일치 및 설치를 달성할 수 있습니다.
• 표면처리 맞춤화 : 초정밀 연마, 특수코팅 등 맞춤형 표면처리 서비스를 제공하여 제품의 내식성과 수명을 대폭 향상시킵니다.

4. 성능 검증 및 효율성 업그레이드

• PVT SiC 결정화 공정에서 핵심 열장 구성요소로 사용될 때 실제 시나리오에서 검증되었습니다.
• 결정 성장률은 기존 흑연 제품에 비해 15%-20% 증가하여 생산 주기가 크게 단축됩니다.
• 4인치 SiC 단결정 웨이퍼 수율은 90%를 넘어 생산원가를 효과적으로 절감한다.
• 장비 유지보수 주기를 기존 3개월에서 6개월로 연장해 가동 중단 유지보수 빈도를 줄이고 생산 효율성을 높였습니다.
  
  

응용 시나리오

• PVT 성장로 어셈블리: SiC 재료 승화 및 결정 성장을 위한 핵심 구성 요소 역할을 하며 안정적이고 균일한 열장 분포를 제공하여 결정화 공정의 원활한 진행을 보장합니다.
• 열장 차폐 구성 요소: 고유한 다공성 구조는 열 응력을 효과적으로 완충하고 장비 마모를 줄이며 장비의 전체 ​​서비스 수명을 연장할 수 있습니다.
• 종자 결정 지지 액세서리: 높은 기계적 강도를 보유하여 종자 결정을 안정적으로 지지하여 방향성 결정 성장의 정확성을 보장합니다.
• 가스 확산층: 기상 전달 효율을 최적화하고 원료의 균일한 승화 및 증착을 촉진하며 단결정 품질 및 성장 속도를 더욱 향상시킵니다.

기술적인 매개변수

핵심 경쟁 하이라이트

• 극한 고온 성능: 연화나 변형 없이 2200℃에서 구조적 안정성을 유지하며 극한의 공정 요구 사항을 충족하기 위해 1000시간 이상 연속 작동을 지원합니다.
• 맞춤형 열장 솔루션: CFD 시뮬레이션 기술을 사용하여 기공 구배 설계를 최적화하고 고객의 공정 요구 사항을 정확하게 일치시키며 결정 균일성과 제품 수율을 개선합니다.
• 신속한 대응 서비스: 프로세스 매개변수 일치 테스트 서비스를 제공하고 72시간 이내에 프로토타입 솔루션을 제공하여 고객이 R&D 및 생산 프로세스를 가속화할 수 있도록 지원합니다.