유리 탄소 도가니

1. 재료 특성 : 비 그래피 화 된 유리 탄소, 성능은 모든 측면에서 전통적인 재료를 능가합니다.

Veteksemicon의 유리 탄소 Carbon Crucible은 고급 고온 소결 기술을 채택하며, 중합체 전구체는 불활성 가스 환경에서 3000 ° C에서 처리됩니다. 그것은 유리의 밀도와 도자기의 고온 저항을 모두 가지고 있습니다.핵심 장점에는 포함됩니다:

✔ 매우 높은 순도: 불순물 함량은 2ppm 미만 (알루미늄 및 철과 같은 금속 불순물과 같은)은 반도체 등급 재료의 요구를 충족시킵니다.

✔ 극한 온도 저항: 진공 또는 불활성 가스에서 최대 3000 ° C까지 안정적으로 사용할 수 있으며 온도가 증가함에 따라 강도가 증가합니다 (2400 ° C의 강도는 정상 온도의 두 배입니다).

✔ 제로 다공성 및 항-투과성: 개방 기공이없고 가스 투과성 계수는 ​​10 ℃ Cm²/s만큼 낮아서 용융 금속의 산화 또는 오염을 피할 수 있습니다.

✔ 우수한 전기 및 열 전도성: 열전도율 6.3 W/(M · K), 저항 45μm, 고주파 유도 가열 공정에 적합합니다.

✔ 화학적 부식 저항: 강한 산, 강한 알칼리 및 용융 소금 부식에 내성, 입자 흘림이 없어 반도체 생산의 청결을 보장합니다.

2. 반도체 처리의 핵심 응용 시나리오

Veteksemicon의 유리 탄소 도가니 제품 제품은 일반적으로 다음을 포함하여 반도체 제조에서 전체 공정의 주요 링크를 다룹니다.

1) 단결정 실리콘 성장 :

SIC 결정 성장 용광로에 사용되는 절연 코팅, 열 전장 안정성을 향상시키고 에너지 소비를 20%감소시킵니다.

순도가 높은 특성은 실리콘 용융 오염을 피하고 격자 결함을 줄입니다.

2) 이온 임플란트 및 에칭 과정 :

플라즈마 에칭 시스템의 전극 및 가스 디퓨저로서 균일 한 방전 및 공정 일관성을 보장합니다.

안티 이온 폭격 특성은 장비 수명을 연장합니다.

3) 금속 화 및 합금 제련 :

녹은 금, 팔라듐 및 티타늄 합금을위한 이상적인 용기, 비 습격 표면은 재료 손실을 감소시킵니다.

고도로 활성 희귀 금속 (예 : 갈륨 및 인듐)의 정제 및 성형에 적합합니다.

경고: 유리 탄소 도가약은 크롬-코발트-몰트-몰리브덴 합금을 녹이는 데 사용될 수 없습니다. 마찬가지로, 실리콘 또는 텅스텐과 같은 쉽게 탄화물을 녹일 수 없습니다.

4) 고급 포장 및 테스트 :

웨이퍼 전달 캐리어 (더미 웨이퍼) 및 열 반사기로서, 고온 공정의 안정성을 보장합니다.

3. 엔터프라이즈 생산 강점 : 대규모 제조 및 기술 혁신

중국의 유리 탄소 원료 공급 업체로서 Veteksemicon은 다음과 같은 핵심 이점을 가지고 있습니다.

✔ 전체 프로세스 독립 생산

원료 중합에서 고온 소결에 이르기까지 전체 공정은 배치 일관성을 보장하기 위해 제어 할 수 있습니다.

대량 생산 능력은 5μm 레벨의 초박형 코팅을 큰 도가가 (예 : 직경 132mm, 높이 273mm 사양)에 포함합니다.

✔ 맞춤형 처리 기능

비표준 크기의 커스터마이징 (예 : 특수 모양의 도가니, 튜브, 필름)을 지원하며, ± 0.2mm의 공차 정확도.

✔ 기술 R & D 보유

중국 과학 아카데미의 과학 연구 기관과 협력하여 나노 유리 탄소 (최대 3GPA)를 개발하고 소형화 된 반도체 장비의 적용을 확장합니다.

연료 전지 바이폴라 플레이트 및 항공 우주 테일 노즐과 같은 신흥장을 배치하여 국경 간 혁신을 촉진합니다.