3피스 흑연 도가니

주요 특징
· 정제 후 회분 함량이 5ppm 이하인 고순도 등방성 흑연.

· 3피스 모듈형 설계로 열 응력을 최소화하고 서비스 수명을 연장합니다.

· 열전도율이 뛰어나 온도분포가 안정적입니다.

· 반복적인 가열과 냉각에 대한 내열충격성이 뛰어납니다.

· 옵션인 CVD SiC, TaC 및 PyC 코팅과 호환됩니다.

· 정밀 CNC 가공으로 엄격한 치수 공차를 보장합니다.

· 고객 도면에 따라 맞춤형 크기 및 구조를 사용할 수 있습니다.

명세서

응용
· PVT SiC 결정 성장

· 반도체 열전계 시스템

· 결정성장로

· 고온 진공로

· 화합물 반도체 결정 성장

· 반도체 연구개발 장비

왜 VETEK과 협력해야 할까요?

· 흑연 정제부터 코팅까지 자체 생산을 완료합니다.

· 고급 CNC 가공 및 반도체급 품질 관리.

· SiC, TaC 및 PyC 코팅 기술 옵션.

· 도면이나 장비 모델을 기반으로 맞춤 제작합니다.

· 안정적인 글로벌 공급과 안정적인 기술 지원.