PG(열분해 흑연) 코팅 링

주요 특징

• 매우 높은 열 전도성 – 열분해 흑연의 면내 열 전도성은 1000-1800 W/m·K에 도달할 수 있습니다. 즉, 열이 링 전체에 빠르고 균일하게 퍼집니다.

• 우수한 열장 안정성 – 설계는 자연스럽게 온도 구배를 줄이고 복잡한 고온 시스템에서도 국지적 핫스팟을 억제합니다.

• 우수한 열충격 저항 - 열팽창 계수가 낮기 때문에 링은 반복적인 가열 및 냉각 사이클을 통해 뒤틀림 없이 모양을 유지합니다.

• 고온 성능 – 2500°C 이상의 온도, 불활성 대기에서도 안정적으로 작동합니다.

• 고순도, 저오염 – CVD 유래 탄소층은 매우 깨끗하여 금속 불순물과 입자 배출을 최소화합니다.

• 긴 서비스 수명 – 열 관리가 향상되어 재료 마모가 느려지므로 각 부품의 작동 수명이 연장됩니다.

• 맞춤형 설계 – 당사는 다양한 반도체 도구 및 프로세스 요구 사항에 맞게 다양한 직경, 두께 및 코팅 사양을 제공합니다.

PG 코팅 링 대 PyC 코팅 링

열 전도성과 온도 균일성이 최우선이라면 PG를 선택하세요.

내부식성, 파티클 발생 최소화, 비용 효율성이 더 중요하다면 PyC를 선택하세요.

응용

이러한 PG 코팅 링은 이미 다음을 포함하여 광범위한 장비에 사용되고 있습니다.

• PVT SiC 결정 성장 시스템

• 반도체 열전계 어셈블리

• SiC 결정 성장 도구

• 고온 진공로

• 급속 열 처리(RTP) 시스템

• 어닐링 오븐

• 확산로

• 히터 보호 구조

• 열 차단 장치

• 단열 스택

• 기타 초고온 반도체 공정

왜 VETEK과 협력해야 할까요?

• 우리는 중개인이 아닙니다. 흑연 가공부터 최종 코팅까지 모든 과정이 자체 시설 내에서 처리됩니다.

• 당사의 내부 역량은 정화, CNC 가공, 코팅 증착 및 전체 검사를 모두 한 곳에서 다루고 있습니다.

• 당사는 반도체 및 전력 전자 재료 분야에 깊은 뿌리를 두고 있으므로 고객 프로세스의 실제 요구 사항을 이해합니다.

• 당사의 코팅 포트폴리오에는 SiC, TaC, PyC 및 맞춤형 열장 설계가 포함되며 당사는 하나의 기술에 국한되지 않습니다.

• 맞춤형 솔루션이 필요하십니까? Just share your drawings or equipment model, and our engineering team will work with you directly.

• 우리는 전 세계 고객을 위해 안정적인 공급망과 정시 배송 기록을 유지합니다.

• 결론: 당사는 개념부터 생산까지 반도체 열전계 부품 및 고급 탄소 기반 재료에 대한 신뢰할 수 있는 단일 소스를 제공합니다.