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실리콘 카바이드 세라믹 (sic)실리콘 및 탄소를 함유 한 고급 세라믹 물질입니다. 1893 년 초, 인공적으로 합성 된 SiC 분말은 연마제로서 대량 생산되기 시작했다. 준비된 실리콘 탄화물 곡물은 소결되어 매우 단단하게 형성 될 수 있습니다.도예,SIC 도자기.
SIC 세라믹 구조
SIC 세라믹은 높은 경도, 고강도 및 압축 저항, 고온 안정성, 우수한 열전도율, 부식 저항 및 낮은 팽창 계수의 탁월한 특성을 가지고 있습니다. SIC 세라믹은 현재 자동차 분야, 환경 보호, 항공 우주, 전자 정보, 에너지 등 분야에서 널리 사용되며 많은 산업 분야에서 대체 할 수없는 중요한 구성 요소 또는 핵심 부분이되었습니다.
현재 실리콘 카바이드 세라믹의 제조 과정은반응 소결, 압력이없는 소결, 뜨거운 압축 소결그리고재결정 소결. 반응 소결은 시장에서 가장 큰 시장과 낮은 생산 비용을 가지고 있습니다. 압력이없는 소결은 비용이 높지만 성능이 뛰어납니다. Hot Pressed Sintering은 성능이 뛰어나지 만 비용이 많이 듭니다. 주로 항공 우주 및 반도체와 같은 고정밀 분야에서 사용됩니다. 재결정화 소결은 성능이 좋지 않은 다공성 물질을 생성합니다. 따라서 반도체 산업에 사용되는 SIC 세라믹은 종종 뜨거운 압박 소결에 의해 준비됩니다.
다른 7 가지 유형의 SIC에 비해 뜨거운 압축 SIC 세라믹 (HPSC)의 상대적 장점과 단점 :
다른 생산 방법에 의한 주요 시장 및 SIC 성과
Hot Pressed Sintering에 의한 SIC 세라믹의 준비:
•원료 준비: 고순도 실리콘 카바이드 분말은 원료로 선택되며, 분 밀링, 스크리닝 및 기타 공정에 의해 전처리되어 분말의 입자 크기 분포가 균일합니다.
•곰팡이 디자인: 준비 할 실리콘 카바이드 세라믹의 크기와 모양에 따라 적합한 곰팡이를 설계하십시오.
•곰팡이 로딩 및 누름: 사전 처리 된 실리콘 카바이드 분말을 금형에 로딩 한 다음 고온 및 고압 조건 하에서 눌렀다.
•소결과 냉각: 프레스가 완성 된 후, 곰팡이와 실리콘 카바이드 블랭크는 소결을 위해 고온 용광로에 넣습니다. 소결 과정에서, 실리콘 카바이드 분말은 점차적으로 화학적 반응을 겪어 조밀 한 세라믹 몸체를 형성한다. 소결 후, 적절한 냉각 방법을 사용하여 생성물을 실온으로 냉각시킨다.
뜨거운 프레스 실리콘 카바이드 유도 용광로의 개념적 다이어그램 :
• (1) 유압 프레스 하중 벡터;
• (2) 유압 프레스 스틸 피스톤;
• (3) 방열판;
(4) 고밀도 흑연 부하 전달 피스톤;
• (5) 고밀도 흑연 Hot Pressed Die;
• (6) 흑연 하중 용광로 절연;
(7) 밀폐 된 수냉식 용광로 덮개;
• (8) 밀폐 용광로 벽에 내장 된 수냉식 구리 유도 코일 파이프;
• (9) 압축 흑연 섬유 보드 절연 층;
(10) 밀폐 된 수냉로 된 용광로;
• (11) 유압 프레임 하중 부하 하부 빔을 나타내는 힘 반응 벡터;
• (12) HPSC 세라믹 바디
Hot Pressed Sic Ceramics는 다음과 같습니다.
•높은 purity :0.98% (단결정 SIC는 100% 순수).
•완전히 밀도가 있습니다: 100% 밀도가 쉽게 달성됩니다 (단결정 SIC는 100% 밀도).
•폴리 크리스톨 린.
•초트라핀 곡물 Hot Pressed Sic Ceramics 미세 구조는 100% 밀도를 쉽게 달성합니다.. 이것은 단결정 SIC 및 직접 소결 된 SIC를 포함하여 다른 모든 형태의 SIC보다 우수한 압축 SIC 세라믹을 만듭니다.
따라서 SIC 세라믹에는 다른 세라믹 재료를 능가하는 우수한 특성이 있습니다.
반도체 산업에서 SIC 세라믹은 갈기를위한 실리콘 카바이드 분쇄 디스크와 같은 널리 사용되었습니다.웨이퍼, 웨이퍼 처리 엔드 이펙터열처리 장비의 반응 챔버에서 웨이퍼 및 부품을 운반하기 위해
SIC 세라믹은 전체 반도체 산업에서 큰 역할을하고 있으며 반도체 기술의 지속적인 업그레이드로 더 중요한 위치를 차지할 것입니다.
이제 SIC 세라믹의 소결 온도를 낮추고 새롭고 저렴한 생산 공정을 찾는 것은 여전히 물질 근로자의 연구 초점입니다. 동시에, SIC 세라믹의 모든 장점을 탐구하고 발전시키는 것은 Vetek 반도체의 주요 과제입니다. 우리는 SIC 세라믹이 광범위한 개발 및 응용 전망을 가질 것이라고 믿는다.
Vetesemicon 소결 실리콘 탄화물의 물리적 특성 :
재산
전형적인 가치
화학 성분
sic> 95%, <5%
벌크 밀도
> 3.07 g/cm³
명백한 다공성
<0.1%
20 ℃에서 파열의 모듈러스
270 MPa
1200 ℃에서 파열의 모듈러스
290 MPa
20 ℃에서의 경도
2400kg/mm²
20%의 골절 강인
3.3 MPa · m1/2
1200 ℃에서 열전도율
45 W/M.K
20-1200 ℃에서 열 팽창
4.51 × 10-6/℃
최대 작업 온도
1400 ℃
1200 ℃에서 열 충격 저항
좋은
Vetek 반도체는 전문 중국 제조업체이자 공급 업체입니다. 고순도 SIC 웨이퍼 보트 캐리어,,, 고순도 sic 캔틸레버 패들,,, SIC 캔틸레버 패들,,, 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트,,, MoCVD SIC 코팅 감수기그리고 다른 반도체 세라믹. Vetek 반도체는 반도체 산업을위한 다양한 코팅 제품을위한 고급 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.
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