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반도체 융합 석영 링
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반도체 융합 석영 링

Veteksemi의 반도체 융합 석영 링은 우수한 순도, 매우 높은 열 안정성 및 뛰어난 화학 저항성을 갖춘 반도체 에칭 프로세스에서 필수적인 코어 구성 요소입니다.

에칭 공정에서 VeTek의 반도체 융합 석영 링의 역할


그만큼반도체 에칭 프로세스웨이퍼의 특정 영역을 제거하여 복잡한 회로 패턴을 형성하는 제조 공정의 중요한 부분입니다. 이 과정에는 장기 작동 중에 가혹한 조건을 견딜 수 있고 안정적인 성능을 유지할 수있는 재료가 필요합니다. Vetek의 융합 석영 링은 이러한 고전화 요구 사항을 완벽하게 충족시키고에칭 과정.


Vetek의 반도체 융합 석영 링의 주요 장점


1. 비교할 수 없는 순수함

VeTeksemi의 융합 석영 링에는 SiO2가 있습니다.2최대 99.995%에서 99.999%의 순도. 이 높은 순도 수준은 공정 오염의 위험을 효과적으로 줄이고 에칭 결과의 고품질과 일관성을 보장합니다. 반도체 제조에서는 매우 작은 불순물조차도 장치의 최종 성능에 영향을 줄 수 있으므로 순도가 높은 제품 품질을 향상시키는 데 중요합니다.


2. 우수한 열 안정성

융합 석영 링은 최대 1250 ° C의 작동 온도와 최대 1730 ° C의 연화 온도로 극한 온도 조건에서 우수한 안정성을 유지할 수 있습니다. 이를 통해 구조적 무결성을 유지하고 고온 에칭 환경에서 성능 저하를 피할 수 있습니다.


3.매우 낮은 확장 계수

석영 링의 열 팽창 계수는 열 충격에 대한 강한 저항을 제공합니다. 에칭 과정에서 빠른 온도 변화에도 불구하고 석영 링은 여전히 ​​안정성을 유지할 수 있으며 열 응력으로 인해 균열 또는 손상이 발생하지 않습니다.


4. 우수한 화학 저항

Vetek의 융합 석영 링은 강산 및 알칼리 저항성을 가지며 에칭 과정에 사용되는 다양한 화학 시약을 견딜 수 있습니다. 이 기능은 복잡한 화학 환경에서 장기 안정적인 작동을 보장하고 서비스 수명을 연장합니다.


5. 미세 기포 및 낮은 하이드 록실 함량이 없습니다

VeTeksemi의 반도체 등급 석영 링은 미세 기포와 수산기 함량을 엄격하게 제어하여 고정밀 에칭 공정에서 안정성과 신뢰성을 보장합니다. 과도한 미세 기포 및 수산기 함량은 공정 결함을 유발하고 최종 장치의 성능에 영향을 미칠 수 있습니다.


6. 낮은 열전도율과 우수한 유전 특성

용융 석영 링은 열 전도성과 유전 상수가 매우 낮으며, 손실 탄젠트는 알려진 모든 재료 중 가장 낮은 값에 가깝습니다. 낮은 열전도율은 웨이퍼 과열 위험을 효과적으로 줄이는 반면, 우수한 유전 특성은 우수한 전기 절연을 보장하고 전기 간섭을 줄여 에칭 공정의 전반적인 효율성을 향상시킵니다.


이러한 기능을 통해 Veteksemi의 융합 석영 링은 반도체 제조에서 안정적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공하여 고정밀 에칭 공정의 원활한 진행을 돕습니다.


고급 반도체 석영 제품 제조업체 및 공급 업체로서 Veteksemi는 다양한 석영 제품을 제공합니다.반도체 석영 탱크, 석영 웨이퍼 보트, 반도체 쿼츠 벨 항아리그리고융합된 석영 도가니. VeTek Semiconductor는 반도체 산업을 위한 고급 맞춤형 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 바랍니다.


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