고순도 석영 도가니

Veteksemicon 플랫폼이 제공하는 고순도 석영 도가니는 매우 높은 순도 합성 융합 석영으로 만들어졌습니다. 선택된 석영 원자재의 SIO2 함량은 일반적으로 99.998% 이상에 도달 할 수 있습니다 (4N8). 고급 용융 및 성형 공정을 통해 불순물 함량, 특히 금속 이온 (예 : Na, K, Li, Fe, Al, CA 등) 및 반도체 공정에 유해한 하이드 록실 함량이 최소화됩니다.

이 석영 도가니는 고온 환경에서 작동하도록 설계되어 결정 성장 및 웨이퍼 처리와의 낮은 오염, 고강도 및 우수한 호환성을 보장합니다.

ⅰ. 반도체 제조 공정의 주요 응용

고순도 쿼츠 도가치는 고유 한 물리적 특성을 가진 많은 주요 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을합니다.

1. 단결정 실리콘 성장 (Czochralski 공정 -CZ)

사용: Czochralski 방법에 의한 단결정 실리콘 성장 과정에서 고순도 석영 도가니가 용융 실리콘의 주요 용기입니다. 실리콘 막대의 품질과 순도는 도가니 재료의 직접적인 영향을받습니다.

우수한 물리적 특성:

● 초고 순도 : 고급 쿼츠 재료로 만들어진 이는 매우 낮은 불순물 강수량을 보장하고 단결정 실리콘의 오염을 피하며, 이는 고도로 통합되고 고성능 반도체 장치의 제조에 중요합니다. 알칼리 금속 및 중금속과 같은 불순물은 캐리어 트랩 또는 산란 센터가되어 장치의 전기적 특성에 심각한 영향을 미칩니다.

● 우수한 고온 저항 : 석영 재료는 융점이 높고 (약 1700 ℃), 녹은 실리콘 (약 1420 ℃)의 매우 높은 온도를 견딜 수 있으며 변형이나 연화없이 오랫동안 안정적으로 작동합니다.

● 우수한 열 안정성 : 고온에서 열 팽창 계수는 매우 낮아서 열 응력에 효과적으로 저항하고 가열 및 냉각 중 균열을 피할 수 있으므로 공정의 안정성과 안전성을 보장합니다.

● 화학적 불활성 : 용융 실리콘에 대한 화학적 불활성이 우수하고, 실리콘과 반응하기 쉽지 않으며, 실리콘의 불순물 도입 및 탄화를 줄이며, 실리콘 결정의 순도를 보장합니다.

2. 다결정 실리콘 잉곳 주조

애플리케이션: 다결정 실리콘 잉곳 주조 공정에서, 고순도 석영 도가니가 용융 다결정 실리콘을위한 용기로서 광전지 또는 전자 등급의 다결정 실리콘 잉곳을 주조한다.

우수한 물리적 특성:

● 열 충격 저항 : 갑작스런 온도 변화로 인한 균열을 피하기 위해 빠른 가열 및 냉각주기에서도 구조적 무결성을 유지할 수 있습니다.

● 치수 안정성 : 사양 요구 사항을 충족하는 다결정 실리콘 잉곳을 주조하는 데 정확한 치수 제어 및 모양 안정성이 필수적입니다.

3. 기타 고온 응용

용도: 반도체 제조에서, 확산, 산화, 어닐링 등과 같은 많은 고온 용광로 공정은 종종 석영 용기를 라이닝 또는 캐리어로 사용하여 프로세스 환경을 깨끗하고 안정적으로 유지합니다.

ⅱ. Veteksemicon의 고순도 석영 도가니의 장점

Veteksemicon은 반도체 산업에 고품질의 고성능 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리의 고급 쿼츠 도가니에는 다음과 같은 장점이 있습니다.

● 매우 높은 순도 보증: 제품이 반도체 급 초고 순도에 도달하고 공정 오염 위험을 최소화하기 위해 원료 및 생산 공정의 엄격한 제어.

● 탁월한 내구성: 우수한 열 안정성 및 기계적 강도, 제품 수명을 연장하고 생산 비용을 줄입니다.

● 맞춤형 서비스: 다양한 크기, 모양 및 사양의 맞춤형 도가니 솔루션은 특정 프로세스 요구에 따라 제공 될 수 있습니다.

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