고순도 sic 캔틸레버 패들

고순도 SIC 캔틸레버 패들은 반도체 처리 장비에 사용되는 핵심 구성 요소입니다. 이 제품은 고순도 실리콘 카바이드 (SIC) 재료로 만들어집니다.  고객은 소결 SIC 재료 또는 재결정 SIC 재료를 자유롭게 선택할 수 있습니다. 고순도, 높은 열 안정성 및 부식 저항의 탁월한 특성을 통해 웨이퍼 전송, 지원 및 고온 처리와 같은 프로세스에 널리 사용되므로 프로세스 정확도 및 제품 품질을 보장하기위한 신뢰할 수있는 보장을 제공합니다.

고순도 SIC 캔틸레버 패들은 반도체 처리 프로세스에서 다음과 같은 특정 역할을합니다.

웨이퍼 전송: 고순도 SIC 캔틸레버 패들은 일반적으로 고온 확산 또는 산화 용광로에서 웨이퍼 전달 장치로 사용됩니다. 경도가 높으면 장기 사용 중에는 내마모성이 있고 변형이 쉽지 않으며, 전송 공정 중에 웨이퍼가 정확하게 배치되도록 할 수 있습니다. 고온 및 부식 저항과 결합하여 웨이퍼에 대한 오염이나 손상을 일으키지 않고 고온 환경에서 용광로 튜브 안팎으로 웨이퍼를 안전하게 전달할 수 있습니다.

웨이퍼 지지대: SIC 재료는 열 팽창 계수가 낮으므로 온도가 변할 때 크기가 더 적어 프로세스의 정확한 제어를 유지하는 데 도움이됩니다. 화학 증기 증착 (CVD) 또는 물리 증기 증착 (PVD) 공정에서, SIC 캔틸레버 패들은 웨이퍼를지지하고 고정하여 증착 공정 동안 웨이퍼가 안정적이고 평평하게 유지되도록하여 필름의 균일 성과 품질을 향상시킨다.

고온 공정의 적용: sic 캔틸레버 패들은 열 안정성이 우수하며 최대 1600 ° C의 온도를 견딜 수 있습니다. 따라서이 제품은 고온 어닐링, 산화, 확산 및 기타 공정에서 널리 사용됩니다.

고순도 sic 캔틸레버 패들의 기본 물리적 특성:

고순도 sic 캔틸레버 패들상점:

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요: