고순도 SIC 웨이퍼 보트 캐리어

VeTekSemi 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어는 반도체 제조 공정의 어닐링로, 확산로 및 기타 장비에 사용되는 중요한 베어링 부품입니다. 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어는 일반적으로 고순도 탄화규소 소재로 만들어지며 주로 다음 부품을 포함합니다.

• 보트 지지체: 브라켓과 유사한 구조로 특별히 운반하는데 사용되는 것실리콘 웨이퍼또는 기타 반도체 재료.

• 지지 구조:지지 구조 설계를 통해 고온에서 무거운 하중을 견딜 수 있으며 고온 처리 중에 변형되거나 손상되지 않습니다.

실리콘 카바이드 물질

물리적 특성재결정화된 탄화규소：

생산 공정 요구 사항이 더 높으면CVD SiC 코팅고순도 SIC 웨이퍼 보트 캐리어에서 순도가 99.9995%이상에 도달하여 고온 저항을 더욱 향상시킬 수 있습니다.

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

고온 처리 중에 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어를 사용하면 실리콘 웨이퍼가 균일하게 가열되어 국부적인 과열을 방지할 수 있습니다. 또한 탄화규소 소재는 내열성이 뛰어나 1200°C 이상의 온도에서도 구조적 안정성을 유지할 수 있습니다.

확산 또는 어닐링 공정 중에 캔틸레버 패들과 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어가 함께 작동합니다. 그만큼캔틸레버 패들실리콘 웨이퍼를 운반하는 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어를 퍼니스 챔버로 천천히 밀어 넣고 지정된 위치에 정지시켜 처리합니다. 

고순도 SIC 웨이퍼 보트 캐리어는 실리콘 웨이퍼와의 접촉을 유지하고 열 처리 과정에서 특정 위치에 고정되어 있으며, 캔틸레버 패들은 온도 균일 성을 보장하면서 전체 구조를 올바른 위치에 유지하는 데 도움이됩니다.

고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어와 캔틸레버 패들이 함께 작동하여 고온 공정의 정확성과 안정성을 보장합니다.

VeTek Semiconductor는 귀하의 필요에 따라 맞춤형 고순도 SiC 웨이퍼 보트 캐리어를 제공합니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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