SIC 코팅 수집기 상단

수년간의 생산 경험으로TAC 코팅그리고SIC 코팅, Vetek 반도체는 광범위한 SIC 코팅 수집기 상단을 공급할 수 있습니다.수집가 센터, 수집가 바닥Aixtron 시스템의 경우. 고품질 SIC 코팅 컬렉터 탑은 많은 응용 프로그램을 충족 할 수 있습니다. 필요한 경우 SIC 코팅 수집기 상단에 대한 온라인 적시 서비스를 받으십시오. 아래의 제품 목록 외에도 특정 요구에 따라 고유 한 SIC 코팅 수집기 상단을 사용자 정의 할 수도 있습니다.

SIC 코팅 수집기 상단, SIC 코팅 수집기 센터 및 SIC 코팅 수집기 바닥은 반도체 제조 공정에 사용되는 세 가지 기본 구성 요소입니다. 각 제품을 개별적으로 논의합시다.

Vetek 반도체 SIC 코팅 수집기 TOP는 반도체 증착 공정에서 중요한 역할을합니다. 증착 된 재료의지지 구조로 작용하여 증착 동안 균일 성과 안정성을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 열 관리를 돕고 공정 중에 발생하는 열을 효과적으로 소산합니다. 수집가의 상단은 증착 된 재료의 올바른 배열 및 분포를 보장하여 고품질의 일관된 필름 성장을 초래합니다.

수집기 상단의 SIC 코팅, 수집기 센터, 컬렉터 맨 아래는 성능과 내구성을 크게 향상시킵니다.SIC (실리콘 카바이드) 코팅우수한 열전도율, 화학적 불활성 및 부식 저항으로 유명합니다. 수집기의 상단, 중앙 및 바닥에있는 SIC 코팅은 우수한 열 관리 기능을 제공하여 효율적인 열 소산을 보장하고 최적의 공정 온도를 유지합니다. 또한 화학 저항성이 뛰어나서 부식성 환경으로부터 부품을 보호하고 서비스 수명을 확장합니다. SIC 코팅의 특성은 반도체 제조 공정의 안정성을 향상시키고 결함을 줄이며 필름 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다.

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

CVD SIC 필름의 SEM 데이터