CVD SIC 코팅 흑연 샤워 헤드

Veteksemicon CVD SIC 코팅 된 흑연 샤워 헤드 인 정밀 엔지니어링 표면은 균일 한 가스 분포를 보장하며, 이는 웨이퍼에 걸쳐 일관된 필름 증착을 달성하는 데 중요합니다. 그만큼SIC 코팅내마모성 및 산화 저항성을 향상시킬뿐만 아니라 가혹한 공정 조건에서 서비스 수명을 연장합니다.

반도체 웨이퍼 제조, 에피 택시 및 박막 증착에 널리 적용되는 CVD SIC 코팅 흑연 샤워 헤드는 차세대 반도체 생산의 요구를 충족시키는 신뢰할 수 있고 고급 및 오래 지속되는 공정 구성 요소를 찾는 제조업체에게 이상적인 선택입니다.

Veteksemi CVD 실리콘 카바이드 샤워 헤드는 고급 화학 증기 증기로 제조되며 반도체, LED 및 고급 전자 산업에서 CVD 및 MOCVD 공정에 최적화됩니다. 뛰어난 열 안정성, 부식성 및 균일 한 가스 분포는 고온, 고 부식성 환경에서 장기 안정적인 작동을 보장하여 공정 반복성 및 수율을 크게 향상시킵니다.

Veteksemicon CVD SIC 코팅 된 흑연 샤워 헤드 코어 장점

● 매우 높은 순도와 밀도

CVD SIC 코팅 흑연 샤워 헤드는 고급 CVD 공정을 사용하여 제조되어 99.9995%이상의 재료 순도를 보장하여 금속 불순물을 제거합니다. 비 다공성 구조는 가스 투과 및 입자 흘림을 효과적으로 방지하여 반도체 에피 택시 및 매우 높은 청결이 필요한 고급 포장 공정에 이상적입니다. 전통적인 소결 SIC 또는 흑연 구성 요소와 비교할 때, 당사의 제품은 장기간 고온 작동 후에도 안정적인 성능을 유지하여 유지 보수 빈도 및 생산 비용을 줄입니다.

● 우수한 열 안정성

고온 CVD 및 MOCVD 공정에서, 기존의 재료는 열 응력으로 인해 변형 또는 균열에 취약하다. CVD SIC 샤워 헤드는 최대 1600 ° C의 온도를 견딜 수 있으며 열 팽창 계수가 매우 낮아서 빠른 온도의 구조적 안정성을 보장합니다. 균일 한 열전도율은 반응 챔버 내의 온도 분포를 추가로 최적화하여 웨이퍼 가장자리와 중심 사이의 증착 속도 차이를 최소화하고 필름 균일 성을 향상시킨다.

● 안티 플라즈마 부식

에칭 또는 증착 공정 중에 고도로 부식성 가스 (예 : CF₄, cl₂및 HBR)은 기존의 석영 또는 흑연 성분을 빠르게 침식시킨다. CVD SIC 재료는 혈장 환경에서 탁월한 부식 저항성을 나타내며, 기존 재료의 수명 3-5 배입니다. 실제 고객 테스트에 따르면 2000 시간의 지속적인 작동 후에도 기공 크기 변화는 ± 1%이내에 남아 장기 안정 가스 흐름 분포를 보장합니다.

● 긴 수명과 유지 보수 비용이 적습니다

전통적인 흑연 구성 요소에는 자주 교체가 필요하지만 SIC 코팅이 장착 된 CVD 샤워 헤드는 가혹한 환경에서도 안정적인 성능을 유지합니다. 이는 전체 비용을 40%이상 줄입니다. 또한, 재료의 높은 기계적 강도는 취급 또는 설치 중 우발적 인 손상을 방지합니다.

● 생태 체인 검증 보증

Veteksemicon CVD 실리콘 카바이드 샤워 헤드의 생태 체인 검증은 생산에 원료를 다루고 국제 표준 인증을 통과했으며 반도체 및 새로운 에너지 분야의 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위해 많은 특허 기술을 보유하고 있습니다.

기술 매개 변수

프로젝트	매개 변수
재료	CVD SIC (코팅 옵션 사용 가능)
직경 범위	100mm-450mm (사용자 정의 가능)
두께 내성	± 0.05mm
표면 거칠기	≤0.2μm
적용 가능한 프로세스	CVD/MOCVD/PECVD/ETCHING/EPITAXY

주요 응용 프로그램 필드

응용 프로그램 방향	일반적인 시나리오
반도체 제조	실리콘 에피 택시, GAN/GAAS 장치
전력 전자 장치	SIC 에피 택셜 웨이퍼 생산
주도의	MoCVD 사파이어 기판 증착
과학 연구 장비	고정밀 박막 증착 시스템

생태 체인 검증 보증

Veteksemicon CVD 실리콘 카바이드 샤워 헤드의 생태 체인 검증은 생산에 원료를 다루고 국제 표준 인증을 통과했으며 반도체 및 새로운 에너지 분야의 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위해 많은 특허 기술을 보유하고 있습니다.

자세한 기술 사양, 백서 또는 샘플 테스트 준비는기술 지원 팀에 문의하십시오Veteksemicon이 프로세스 효율성을 향상시킬 수있는 방법을 탐구합니다.