다공성 흑연이란 무엇입니까? "

다공성 흑연이란 무엇입니까? - Vetek 반도체

The porous structure of graphite

흑연의 다공성 구조

다공성 흑연은 기본 물질로서 흑연으로 만들어진 다공성 구조 생성물이다. 그 재료는 고순도 흑연으로 만들어졌습니다. Vetek 반도체 다공성 흑연의 물리적 파라미터는 생산 공정 및 특정 적용에 따라 다릅니다. 다음은 일반적인 물리적 매개 변수입니다.

전형적인 물리적 특성다공성 흑연
ltem	매개 변수
벌크 밀도	0.89 g/cm²
압축 강도	8.27 MPa
굽힘 강도	8.27 MPa
인장 강도	1.72 MPa
특정 저항	130Ω-inx10^-5
다공성	50%
평균 기공 크기	70UM
열전도율	12W/m*k

다공성 흑연은 고순도 흑연으로 만들어지며 전기 전도도, 열 전도도, 고온 저항, 산화 저항, 화학적 안정성 및 기타 특성을 갖는다. 반도체 처리 산업에서 널리 사용됩니다.

반도체 처리 과정에서 다공성 흑연은 다음 측면에서 널리 사용됩니다.:

산, 알칼리 및 용매와 같은 대부분의 화학 물질에 대한 우수한 내식성과 같은 다공성 흑연의 탁월한 고온 저항성 및 화학적 안정성과 결합하여 다공성 흑연은 종종 고온 소결 및 열처리 장비에 사용됩니다. 예를 들어, 다공성 흑연은 고온 용광로의 안감, 절연 재료 또는지지 재료로 사용될 수 있습니다.

또한, 다공성 흑연 성분은 균일 한 열전대 및 안정적인 전기 특성을 제공하기 위해 우수한 전기 전도도 및 열 안정성을 갖는다. 따라서이 제품은 종종에서 사용됩니다확산 또는 산화 과정확산 소스 또는 전극 재료로서 반도체 처리의.

다공성 흑연의 다공성 구조는 반도체 처리에 사용되는 가스를 여과하고 정제 할 수 있으며, 입자 오염이 가능한 가능한 가스를 감소 시키며, 가공 중에 높은 청결을 보장 할 수 있습니다. 다공성 구조 및 우수한 공기 투과성을 갖는 다공성 흑연 부품은 또한 진공 흡착 시스템에서베이스 및 고정물로 사용하여 효율적인 진공 흡착을 통해 웨이퍼 또는 기타 구성 요소를 고정시킬 수 있습니다.

흑연의 소결 과정을 조정하여 Vetek 반도체는서로 다른 응용 프로그램 요구 사항을 충족하기 위해 다른 기공 크기와 대마사를 가진 다공성 흑연 재료를 사용자 정의하십시오..

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