실리콘 카바이드 세라믹은 무엇입니까?

오늘날의 급성장하는 반도체 산업에서 반도체 세라믹 부품은 고유 한 특성으로 인해 반도체 장비에서 중요한 위치를 확보했습니다. 이러한 중요한 구성 요소를 조사해 봅시다.

ⅰ.반도체 세라믹 성분에 어떤 재료가 사용됩니까?

(1) Alumina Ceramics (al₂o₃) ‌

Alumina Ceramics는 세라믹 구성 요소를 제조하기위한 "작업"입니다. 이들은 우수한 기계적 특성, 초고 융점 및 경도, 부식성, 강한 화학적 안정성, 높은 저항력 및 우수한 전기 절연을 나타냅니다. 그들은 일반적으로 연마판, 진공 척, 세라믹 암 및 유사한 부분을 제조하는 데 사용됩니다.

(2) um 알루미늄 질화물 세라믹 (ALN) ‌

알루미늄 질화물 세라믹은 높은 열전도율, 실리콘과 일치하는 열 팽창 계수, 유전 상수 및 손실이 낮습니다. 높은 융점, 경도, 열전도도 및 단열과 같은 장점으로 주로 열차 가시화 기판, 세라믹 노즐 및 정전기 척에 사용됩니다.

(3) tyttria ceramics (y₂o₃) ‌

Yttria Ceramics는 높은 융점, 우수한 화학적 및 광화학 안정성, 낮은 포논 에너지, 높은 열전도율 및 우수한 투명성을 자랑합니다. 반도체 산업에서는 종종 알루미나 세라믹과 결합됩니다. 예를 들어 YTTRIA 코팅은 세라믹 창을 생산하기 위해 알루미나 세라믹에 적용됩니다.

(4) il 실리콘 질화물 세라믹 (si₃n₄) ‌

실리콘 질화물 세라믹은 높은 융점, 뛰어난 경도, 화학적 안정성, 낮은 열 팽창 계수, 높은 열전도율 및 강한 열 충격 저항을 특징으로합니다. 그들은 1200 ° C 미만의 뛰어난 충격 저항과 강도를 유지하므로 세라믹 기판, 하중 기반 후크, 위치 핀 및 세라믹 튜브에 이상적입니다.

(5) il 실리콘 카바이드 세라믹 (SIC) ‌

속성의 다이아몬드와 유사한 실리콘 카바이드 세라믹은 가벼운, 초 강성 및 고강도 재료입니다. 탁월한 포괄적 인 성능, 내마모성 및 부식 저항으로 밸브 시트, 슬라이딩 베어링, 버너, 노즐 및 열 교환기에는 널리 사용됩니다.

(6) irczirconia ceramics (zro₂) ‌

지르코니아 세라믹은 높은 기계적 강도, 내열성, 산/알칼리 저항성 및 탁월한 단열재를 제공합니다. 지르코니아 함량에 따라 다음으로 분류됩니다.

● 정밀 도자기 (통합 회로 기판 및 고주파 단열재에 사용되는 99.9%를 초과하는 콘텐츠).

● 일반 세라믹 (일반 목적 세라믹 제품의 경우).

ⅱ.반도체 세라믹 성분의 구조적 특성

(1) 세라믹스는 세라믹스입니다

조밀 한 세라믹은 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이들은 기공을 최소화함으로써 밀도를 달성하고 반응 소결, 압력이없는 소결, 액체 상한 소결, 뜨거운 프레스 및 뜨거운 등방성 프레스와 같은 방법을 통해 제조된다.

(2) 유사 세라믹스

조밀 한 세라믹과 달리 다공성 세라믹에는 통제 된 양의 공극이 포함되어 있습니다. 그것들은 기공 크기로 미세 다공성, 메조 포러스 및 거대 다공성 도자기로 분류됩니다. 벌크 밀도, 경량 구조, 넓은 표면적, 효과적인 여과/열 절연/음향 댐핑 특성 및 안정적인 화학/물리 성능을 사용하면 반도체 장비의 다양한 구성 요소를 제조하는 데 사용됩니다.

ⅲ.반도체 세라믹은 어떻게 형성됩니까?

세라믹 제품에 대한 다양한 성형 방법이 있으며 반도체 세라믹 부품에 일반적으로 사용되는 성형 방법은 다음과 같습니다.

ⅳ.반도체 세라믹 성분 소결 방법 ‌

1. 초고 상태 소결 ‌

유동성 세라믹에 적합한 액체 상이없는 질량 수송을 통한 밀도를 달성합니다.

2.‌Liquid-Phase Sintering‌

일시적인 액체 상을 사용하여 밀도를 향상 시키지만 고온 성능을 저하시키는 입자 경계 유리 상을 위험에 빠뜨립니다.

3. ‌ 자체 프로파일링 고온 합성 (SHS) ‌

신속한 합성을위한 발열 반응에 의존하며, 특히 비 정학 이종 화합물에 효과적입니다.

4. microwave 소결 ‌

균일 한 가열 및 빠른 가공을 가능하게하여 서브 미크론 규모의 세라믹의 기계적 특성을 향상시킵니다.

5. spark 혈장 소결 (SPS) ‌

고성능 재료에 이상적인 초고속 밀도를 위해 펄스 전류와 압력을 결합합니다.

6. ‌ 플래시 소결 ash

억압 된 입자 성장으로 저온 밀도를 달성하기 위해 전기장을 적용합니다.

7. 코드 소용돌이 old

온도에 민감한 재료에 중요한 저온 통합을 위해 일시적인 용매와 압력을 사용합니다.

8. 시경성 압력 소결 ‌

동적 압력을 통해 밀도 및 계면 강도를 향상시켜 잔류 다공성을 줄입니다.