실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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SIC 코팅 e-chuck

Vetek Semiconductor는 중국의 SIC 코팅 전자 척의 주요 제조업체이자 공급 업체입니다. SIC 코팅 e-Chuck은 성능이 뛰어나고 서비스 수명이 긴 Gan Wafer 에칭 프로세스를 위해 특별히 설계되어 반도체 제조에 대한 만능 지원을 제공합니다. 우리의 강력한 가공 능력을 통해 원하는 SIC 세라믹 감수자를 제공 할 수 있습니다. 당신의 문의를 기대합니다.

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SIC ICP 에칭 플레이트

Veteksemicon은 반도체 산업에서 ICP 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 SIC ICP 에칭 플레이트를 제공합니다. 고유 한 재료 특성을 통해 고온, 고압 및 화학적 부식 환경에서 잘 작동하여 다양한 에칭 프로세스에서 우수한 성능과 장기 안정성을 보장합니다. Veteksemicon은 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

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흑연 가열 장치

Vetek 반도체 흑연 난방 장치는 고급 흑연 물질로 만들어진 고성능 산업 가열 솔루션으로, 정확하고 효율적인 가열 효과를 제공 할 수 있습니다. 흑연 난방 장치는 반도체, 전자 제품, 세라믹 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 추가 문의를 환영합니다.

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SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자

SIC 코팅 된 깊은 UV LED 감수자는 MOCVD 공정을 위해 효율적이고 안정적인 딥 UV LED 에피 택셜 층 성장을 지원하기 위해 설계되었습니다. Vetek Semiconductor는 중국의 SIC 코팅 된 Deep UV LED 감수자의 주요 제조업체이자 공급 업체입니다. 우리는 풍부한 경험을 가지고 있으며 많은 LED 에피 택셜 제조업체와 장기적인 협력 관계를 구축했습니다. 우리는 LED 용 감수자 제품의 최고의 국내 제조업체입니다. 수년간의 검증 후, 우리의 제품 수명은 최고의 국제 제조업체와 동등합니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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LED 에피 택시 프로비던스

Vetek Semiconductor의 LED 에피 택시 감수자는 파란색 및 녹색 LED 에피 택셜 제조를 위해 설계되었습니다. 실리콘 카바이드 코팅과 SGL 흑연을 결합하고 경도가 높고 거칠기가 낮고 열 안정성이 우수하며 우수한 화학적 안정성이 있습니다. LED 에피 택시 감수자는 Vetek 반도체의 가장 뛰어난 제품 중 하나입니다. 우리는 귀하의 문의를 기대합니다.

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고순도 CVD SIC 원료

CVD에 의해 제조 된 고순도 CVD SIC 원료는 물리 증기 수송에 의한 실리콘 탄화물 결정 성장을위한 최고의 소스 재료이다. Vetek 반도체에 의해 공급되는 고순도 CVD SIC 원료의 밀도는 Si 및 C- 함유 가스의 자발적 연소에 의해 형성된 작은 입자의 것보다 높으며, 전용 소결 용광로가 필요하지 않으며 거의 일정한 증발 속도를 갖는다. 매우 고품질의 SIC 단결정을 키울 수 있습니다. 귀하의 문의를 기대합니다.

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중국의 전문가 실리콘 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 실리콘 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.