실리콘 카바이드 코팅

VeTek Semiconductor는 초순수 탄화규소 코팅 제품 생산을 전문으로 하며, 이러한 코팅은 정제된 흑연, 세라믹 및 내화 금속 부품에 적용되도록 설계되었습니다.

당사의 고순도 코팅은 주로 반도체 및 전자 산업에 사용되는 것을 목표로 합니다. 이는 웨이퍼 캐리어, 서셉터 및 발열체를 위한 보호층 역할을 하며 MOCVD 및 EPI와 같은 공정에서 발생하는 부식성 및 반응성 환경으로부터 이들을 보호합니다. 이러한 프로세스는 웨이퍼 처리 및 장치 제조에 필수적입니다. 또한 당사의 코팅은 고진공, 반응성 및 산소 환경에 직면하는 진공로 및 샘플 가열 분야에 매우 적합합니다.

VeTek Semiconductor에서는 고급 기계 공장 기능을 갖춘 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 이를 통해 흑연, 세라믹 또는 내화 금속을 사용하여 기본 구성 요소를 제조하고 SiC 또는 TaC 세라믹 코팅을 사내에서 적용할 수 있습니다. 또한 고객이 제공하는 부품에 대한 코팅 서비스를 제공하여 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 유연성을 보장합니다.

당사의 탄화규소 코팅 제품은 Si 에피택시, SiC 에피택시, MOCVD 시스템, RTP/RTA 공정, 에칭 공정, ICP/PSS 에칭 공정, 청색 및 녹색 LED, UV LED 및 원자외선을 포함한 다양한 LED 유형의 공정에 널리 사용됩니다. LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI 등의 장비에 적용되는 LED 등.

우리가 할 수 있는 원자로 부품:

실리콘 카바이드 코팅에는 몇 가지 고유한 장점이 있습니다.

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor 실리콘 카바이드 코팅 매개변수

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	일반적인 값
결정 구조	FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
SiC 코팅 밀도	3.21g/cm³
SiC 코팅경도	비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기	2~10μm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640J·kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700℃
굴곡강도	415MPa RT 4점
영률	430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃
열전도율	300W·m^-1·케이^-1
열팽창(CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC 필름 결정 구조

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

실리콘 카바이드 코팅 Epi 서셉터 SiC 코팅 웨이퍼 캐리어 MOCVD용 SiC 코팅 새틀라이트 커버 CVD SiC 코팅 웨이퍼 Epi 서셉터 CVD SiC 코팅 발열체 Aixtron 위성 웨이퍼 캐리어 SiC 코팅 Epi 수신기 SiC 코팅 반달 흑연 부품

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에피 택시를위한 SIC 코팅 밀봉 링

Epitaxy에 대한 우리의 SIC 코팅 된 밀봉 링은 화학 증기 증착 (CVD)에 의해 고급 규모의 실리콘 카바이드 (CVD)로 코팅 된 흑연 또는 탄소-탄소 복합재를 기반으로 한 고성능 밀봉 성분이며, 이는 흑연의 열 안정성을 SIC의 극도의 환경 저항성을 결합하고 세미네도르 에피축 장비 (예를 들어)를 위해 설계된다.

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단일 웨이퍼 EPI 흑연 장의사

Veteksemicon 단일 웨이퍼 EPI 흑연 감수자는 고성능 실리콘 카바이드 (SIC), GAN (Gallium nitride) 및 기타 3 세대 반도체 에피 택셜 프로세스를 위해 설계되었으며, 질량 생산에서 고정산 에피축 시트의 핵심 베어링 구성 요소입니다.

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플라즈마 에칭 초점 링

웨이퍼 제조 에칭 공정에 사용되는 중요한 구성 요소는 혈장 밀도를 유지하고 웨이퍼 측의 오염을 방지하기 위해 웨이퍼를 제자리에 고정시키는 기능을하는 플라즈마 에칭 초점 링입니다. vetek 반도체는 단일 결정질 실리콘, 실리콘 카르 바이드 및 붕소 카르 바이드와 같은 다른 재료로 혈장 에칭 링을 제공합니다.

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SIC 코팅 e-chuck

Vetek Semiconductor는 중국의 SIC 코팅 전자 척의 주요 제조업체이자 공급 업체입니다. SIC 코팅 e-Chuck은 성능이 뛰어나고 서비스 수명이 긴 Gan Wafer 에칭 프로세스를 위해 특별히 설계되어 반도체 제조에 대한 만능 지원을 제공합니다. 우리의 강력한 가공 능력을 통해 원하는 SIC 세라믹 감수자를 제공 할 수 있습니다. 당신의 문의를 기대합니다.

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SIC ICP 에칭 플레이트

Veteksemicon은 반도체 산업에서 ICP 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 SIC ICP 에칭 플레이트를 제공합니다. 고유 한 재료 특성을 통해 고온, 고압 및 화학적 부식 환경에서 잘 작동하여 다양한 에칭 프로세스에서 우수한 성능과 장기 안정성을 보장합니다.

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