SiC 에피택시 공정

VeTek Semiconductor의 고유한 초경 코팅은 까다로운 반도체 및 복합 반도체 재료 처리를 위한 SiC 에피택시 공정에서 흑연 부품에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 그 결과 흑연 구성 요소 수명이 연장되고, 반응 화학양론이 보존되고, 에피택시 및 결정 성장 응용 분야로 불순물 이동이 억제되어 수율과 품질이 향상됩니다.

당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속으로부터 고온(최대 2200°C)에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호합니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 흑연 처리 및 측정 기능을 보유하고 있으므로 귀하와 귀하의 특정 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있는 전문 엔지니어 팀과 함께 유료 코팅 또는 풀 서비스를 제공할 수 있습니다. .

화합물 반도체 결정

VeTek Semiconductor는 다양한 부품 및 캐리어에 특수 TaC 코팅을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor의 업계 선도적인 코팅 공정을 통해 TaC 코팅은 고순도, 고온 안정성 및 높은 내화학성을 얻을 수 있어 결정 TaC/GaN) 및 EPl 층의 제품 품질을 향상시키고 중요한 원자로 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다.

단열재

도가니, 시드 홀더, 디플렉터 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품. 저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 어셈블리, 웨이퍼 캐리어, 위성 트레이, 샤워 헤드, 캡 및 받침대를 포함한 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 구성 요소, MOCVD 구성 요소.

목적:

● LED(Light Emitting Diode) 웨이퍼캐리어

● ALD(반도체) 수신기

● EPI 수용체(SiC 에피택시 공정)

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터 SiC 에피택셜 반응기용 TaC 코팅 링 TaC 코팅 세잎 반지 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

SiC 코팅과 TaC 코팅의 비교:

	SiC	TaC
주요 특징	초고순도, 우수한 내플라즈마성	우수한 고온 안정성(고온 공정 적합성)
청정	>99.9999%	>99.9999%
밀도(g/cm2³)	3.21	15
경도(kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
비저항 [Ωcm]	0.1-15,000	<1
열전도율(W/m-K)	200-360	22
열팽창계수(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
애플리케이션	반도체장비 세라믹지그(포커스링, 샤워헤드, 더미웨이퍼)	SiC 단결정성장, Epi, UV LED 장비부품

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TAC 코팅 플레이트

Vetek Semiconductor의 TAC 코팅 플레이트는 정밀도로 설계되고 완벽하게 설계된 실리콘 카바이드 (SIC) 단일 결정 성장 공정의 다양한 응용 분야에 맞게 조정되어 있습니다. TAC 코팅 플레이트의 정확한 치수와 강력한 구조는 존재하는 시스템에 쉽게 통합 할 수있게 해주겠습니다. 신뢰할 수있는 성능과 고품질 코팅은 SIC Crystal Growth Applications에서 일관되고 균일 한 결과에 기여합니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 양질의 제품을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

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CVD TAC 코팅 커버

Vetek Semiconductor가 제공하는 CVD TAC 코팅 커버는 까다로운 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고도로 전문화 된 구성 요소입니다. CVD TAC 코팅 커버는 고급 기능과 탁월한 성능으로 몇 가지 주요 장점을 제공합니다. 우리 CVD TAC 코팅 커버는 성공에 필요한 보호 및 성능을 제공합니다. 우리는 귀하와의 잠재적 협력을 탐구하기를 기대합니다!

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TAC 코팅 행성 감수기

TAC 코팅 행성 감수체는 Aixtron 에피 택시 장비의 뛰어난 제품입니다. Vetek 반도체의 TAC 코팅은 우수한 고온 저항성과 화학적 불활성을 제공합니다. 이 독특한 조합은 까다로운 환경에서도 안정적인 성능과 긴 서비스 수명을 보장합니다. Vetek은 고품질 제품을 제공하고 경쟁력있는 가격을 가진 중국 시장에서 장기 파트너로 봉사하기 위해 노력하고 있습니다.

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TAC 코팅 받침대지지 판

TAC 코팅은 2200 ℃의 고온을 견딜 수 있습니다. Vetek 반도체는 중국에서 5ppm 미만의 불순물로 고순도 TAC 코팅을 제공합니다. TAC 코팅 받침대지지 판은 에피 택셜 장치 반응 챔버에서 암모니아 수소, 아르고닌을 견딜 수 있습니다. 제품의 서비스 수명을 향상시킵니다. 요구 사항을 제공하고 사용자 정의를 제공합니다.

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TAC 코팅 척

Vetek 반도체의 TAC 코팅 척은 특히 실리콘 카바이드 (EPI) 공정에서 뛰어난 고온 저항성 및 화학적 불활성으로 유명한 고품질 코팅 표면을 특징으로합니다. TAC 코팅 척은 뛰어난 기능과 탁월한 성능으로 몇 가지 주요 이점을 제공합니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 고품질 제품을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

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lpe sic epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE 리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품인 수평 에피택시로를 위한 특수 설계입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 뛰어난 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다. Vetek Semiconductor는 6인치, 8인치 LPE SiC Epi 하프문을 전문적으로 제조하고 있습니다. 귀하와의 장기적인 협력을 기대하고 있습니다.

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중국의 전문가 SiC 에피택시 공정 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 SiC 에피택시 공정을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.