SiC 에피택시 공정

VeTek Semiconductor의 고유한 초경 코팅은 까다로운 반도체 및 복합 반도체 재료 처리를 위한 SiC 에피택시 공정에서 흑연 부품에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 그 결과 흑연 구성 요소 수명이 연장되고, 반응 화학양론이 보존되고, 에피택시 및 결정 성장 응용 분야로 불순물 이동이 억제되어 수율과 품질이 향상됩니다.

당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속으로부터 고온(최대 2200°C)에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호합니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 흑연 처리 및 측정 기능을 보유하고 있으므로 귀하와 귀하의 특정 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있는 전문 엔지니어 팀과 함께 유료 코팅 또는 풀 서비스를 제공할 수 있습니다. .

화합물 반도체 결정

VeTek Semiconductor는 다양한 부품 및 캐리어에 특수 TaC 코팅을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor의 업계 선도적인 코팅 공정을 통해 TaC 코팅은 고순도, 고온 안정성 및 높은 내화학성을 얻을 수 있어 결정 TaC/GaN) 및 EPl 층의 제품 품질을 향상시키고 중요한 원자로 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다.

단열재

도가니, 시드 홀더, 디플렉터 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품. 저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 어셈블리, 웨이퍼 캐리어, 위성 트레이, 샤워 헤드, 캡 및 받침대를 포함한 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 구성 요소, MOCVD 구성 요소.

목적:

● LED(Light Emitting Diode) 웨이퍼캐리어

● ALD(반도체) 수신기

● EPI 수용체(SiC 에피택시 공정)

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터 SiC 에피택셜 반응기용 TaC 코팅 링 TaC 코팅 세잎 반지 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

SiC 코팅과 TaC 코팅의 비교:

	SiC	TaC
주요 특징	초고순도, 우수한 내플라즈마성	우수한 고온 안정성(고온 공정 적합성)
청정	>99.9999%	>99.9999%
밀도(g/cm2³)	3.21	15
경도(kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
비저항 [Ωcm]	0.1-15,000	<1
열전도율(W/m-K)	200-360	22
열팽창계수(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
애플리케이션	반도체장비 세라믹지그(포커스링, 샤워헤드, 더미웨이퍼)	SiC 단결정성장, Epi, UV LED 장비부품

View as

TAC 코팅 예비 부품

TAC 코팅은 현재 실리콘 카바이드 단결정 성장 (PVT 방법), 에피 택시 디스크 (실리콘 카바이드 에피 택시, LED 에피 택시 포함)와 같은 공정에 주로 사용됩니다. TAC 코팅 플레이트의 우수한 장기 안정성과 결합 된 Veteksemicon의 TAC 코팅 플레이트는 TAC 코팅 부품의 벤치 마크가되었습니다. 우리는 당신이 우리의 장기 파트너가되기를 고대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

EPI 수신기의 간

SIC EPI 감수자의 GAN은 우수한 열전도율, 고온 처리 능력 및 화학적 안정성을 통해 반도체 처리에 중요한 역할을하며 GAN 에피 택셜 성장 공정의 고효율 및 재료 품질을 보장합니다. Vetek Semiconductor는 SIC EPI 감수자에 대한 GAN의 China Professional Manufacturer입니다. 우리는 귀하의 추가 상담을 진심으로 기대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

CVD TAC 코팅 캐리어

CVD TAC 코팅 캐리어는 주로 반도체 제조의 에피 택셜 공정을 위해 설계되었습니다. CVD TAC 코팅 캐리어의 초고 융점, 우수한 부식 저항 및 뛰어난 열 안정성은 반도체 에피 택셜 공정 에서이 제품의 필수 불가능 성을 결정합니다. 추가 문의를 환영합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

TaC 코팅 흑연 수신기

Vetek 반도체의 TAC 코팅 흑연 감수자는 화학 증기 증착 (CVD) 방법을 사용하여 흑연 부품의 표면에서 탄탈 룸 카바이드 코팅을 준비합니다. 이 과정은 가장 성숙하며 최고의 코팅 특성을 가지고 있습니다. TAC 코팅 된 흑연 감수기는 흑연 성분의 서비스 수명을 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 에피 택시의 품질을 보장 할 수 있습니다. 우리는 귀하의 문의를 기대하고 있습니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

TAC 코팅 서브

Vetek 반도체는 뛰어난 TAC 코팅을 통해 TAC 코팅 감수자를 제시합니다.이 감수자는 기존 시스템으로 원활하게 설계하는 수많은 이점을 제공합니다. Vetek 반도체의 TAC 코팅 감수자는 공동성 및 효율적인 작동을 보장합니다. 신뢰할 수있는 성능과 고품질 TAC 코팅은 SIC 에피 택시 프로세스에서 탁월한 결과를 지속적으로 제공합니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 고품질 제품을 제공하고 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

TAC 코팅 회전 플레이트

Vetek Semiconductor가 생산하는 TAC 코팅 회전 플레이트는 뛰어난 TAC 코팅을 자랑하며 뛰어난 TAC 코팅을 자랑하며, TAC 코팅 회전 플레이트 자랑은 현저한 고온 저항성과 화학적 불활성을 가지고 있으며 전통적인 솔루션과 차별화되어 경쟁력있는 가격으로 양질의 제품을 공급하기 위해 노력하고 있습니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

중국의 전문가 SiC 에피택시 공정 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 SiC 에피택시 공정을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.