SiC 에피택시 공정

VeTek Semiconductor의 고유한 초경 코팅은 까다로운 반도체 및 복합 반도체 재료 처리를 위한 SiC 에피택시 공정에서 흑연 부품에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 그 결과 흑연 구성 요소 수명이 연장되고, 반응 화학양론이 보존되고, 에피택시 및 결정 성장 응용 분야로 불순물 이동이 억제되어 수율과 품질이 향상됩니다.

당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속으로부터 고온(최대 2200°C)에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호합니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 흑연 처리 및 측정 기능을 보유하고 있으므로 귀하와 귀하의 특정 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있는 전문 엔지니어 팀과 함께 유료 코팅 또는 풀 서비스를 제공할 수 있습니다. .

화합물 반도체 결정

VeTek Semiconductor는 다양한 부품 및 캐리어에 특수 TaC 코팅을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor의 업계 선도적인 코팅 공정을 통해 TaC 코팅은 고순도, 고온 안정성 및 높은 내화학성을 얻을 수 있어 결정 TaC/GaN) 및 EPl 층의 제품 품질을 향상시키고 중요한 원자로 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다.

단열재

도가니, 시드 홀더, 디플렉터 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품. 저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 어셈블리, 웨이퍼 캐리어, 위성 트레이, 샤워 헤드, 캡 및 받침대를 포함한 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 구성 요소, MOCVD 구성 요소.

목적:

● LED(Light Emitting Diode) 웨이퍼캐리어

● ALD(반도체) 수신기

● EPI 수용체(SiC 에피택시 공정)

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터 SiC 에피택셜 반응기용 TaC 코팅 링 TaC 코팅 세잎 반지 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

SiC 코팅과 TaC 코팅의 비교:

	SiC	TaC
주요 특징	초고순도, 우수한 내플라즈마성	우수한 고온 안정성(고온 공정 적합성)
청정	>99.9999%	>99.9999%
밀도(g/cm2³)	3.21	15
경도(kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
비저항 [Ωcm]	0.1-15,000	<1
열전도율(W/m-K)	200-360	22
열팽창계수(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
애플리케이션	반도체장비 세라믹지그(포커스링, 샤워헤드, 더미웨이퍼)	SiC 단결정성장, Epi, UV LED 장비부품

View as

CVD TaC 코팅 도가니

VeTek Semiconductor는 중국의 CVD TaC 코팅 도가니 제품 전문 제조업체이자 리더입니다. CVD TaC 코팅 도가니는 탄탈륨 탄소(TaC) 코팅을 기반으로 합니다. 화학기상증착(CVD) 공정을 통해 도가니 표면에 탄탈륨 카본 코팅을 균일하게 코팅해 내열성과 내식성을 높였습니다. 고온 극한 환경에서 특별히 사용되는 재료 도구입니다. 추가 상담을 환영합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어

중국의 전문 CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어 제품 제조업체이자 공장인 VeTek Semiconductor CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조의 고온 및 부식 환경을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 운반 도구입니다. CVD TaC 코팅 웨이퍼 캐리어는 높은 기계적 강도, 뛰어난 내식성, 열적 안정성을 갖추고 있어 고품질 반도체 장치 제조에 필요한 보증을 제공합니다. 추가 문의를 환영합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

TaC 코팅히터

VeTek Semiconductor TaC 코팅 히터는 융점이 매우 높습니다(약 3880°C). 녹는점이 높기 때문에 특히 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 공정에서 질화갈륨(GaN) 에피택셜 층을 성장시킬 때 매우 높은 온도에서 작동할 수 있습니다. VeTek Semiconductor는 고객에게 맞춤형 제품 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 우리는 귀하의 의견을 기다리겠습니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

CVD TAC 코팅

Vetek 반도체는 중국 최고의 CVD TAC 코팅 제품 제조업체입니다. 수년 동안, 우리는 CVD TAC 코팅 커버, CVD TAC 코팅 링과 같은 다양한 CVD TAC 코팅 제품에 중점을두고 있습니다. Vetek 반도체는 맞춤형 제품 서비스 및 만족스러운 제품 가격을 지원하며 추가 상담을 기대합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

TAC 코팅 척

고온 저항, 화학적 불활성 및 탁월한 성능으로 Vetek Semiconductor의 TAC 코팅 척은 반도체 용광로 용으로 설계되었습니다. 우리는 우리의 제품이 당신에게 고급 기술과 고품질 제품 솔루션을 제공 할 수 있다고 생각합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

TAC 코팅 튜브

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 튜브는 탄화규소 단결정의 성공적인 성장을 위한 핵심 구성 요소입니다. 높은 내열성, 화학적 불활성 및 탁월한 성능을 통해 일관된 결과로 고품질 결정을 생산할 수 있습니다. PVT 방법 SiC 결정 성장 공정을 향상하고 우수한 결과를 얻으려면 당사의 혁신적인 솔루션을 믿으십시오. 문의해 주셔서 감사합니다.

더보기 >> 문의 보내기 >>

중국의 전문가 SiC 에피택시 공정 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 SiC 에피택시 공정을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.