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EPI 수신기의 간
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EPI 수신기의 간

SIC EPI 감수자의 GAN은 우수한 열전도율, 고온 처리 능력 및 화학적 안정성을 통해 반도체 처리에 중요한 역할을하며 GAN 에피 택셜 성장 공정의 고효율 및 재료 품질을 보장합니다. Vetek Semiconductor는 SIC EPI 감수자에 대한 GAN의 China Professional Manufacturer입니다. 우리는 귀하의 추가 상담을 진심으로 기대합니다.

전문가로서반도체 제조업체중국에서반도체 EPI 수신기의 간준비 과정에서 핵심 요소입니다SIC에 간장치성능은 에피 택셜 층의 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. Power Electronics, RF 장치 및 기타 필드의 SIC 장치에 GAN을 광범위하게 적용하면따라서 EPI 수신기점점 높아질 것입니다. 우리는 반도체 산업을위한 최고의 기술 및 제품 솔루션을 제공하는 데 중점을두고 상담을 환영합니다.


일반적으로 반도체 처리에서 SIC EPI 감수자에 대한 GAN의 역할은 다음과 같습니다.:

Illustration of epitaxial structures of GaN on SiC


● 고온 처리 능력: Sic epi 감수자 (실리콘 카바이드 에피 택셜 성장 디스크에 기초한 GAN)는 주로 질화 갈륨 (GAN) 에피 택셜 성장 공정, 특히 고온 환경에서 주로 사용됩니다. 이 에피 택셜 성장 디스크는 일반적으로 1000 ° C에서 1500 ° C 사이의 매우 높은 가공 온도를 견딜 수있어 GAN 재료의 에피 택셜 성장 및 실리콘 카바이드 (SIC) 기질의 가공에 적합합니다.


● 우수한 열 전도성: SIC EPI 감수자는 가열원에 의해 생성 된 열을 SIC 기판으로 균일하게 전달하기 위해 열전도도가 우수해야합니다. 실리콘 카바이드는 열전도율이 매우 높으며 (약 120-150 w/mk), SIC 에피 택시 감수자의 GAN은 실리콘과 같은 기존 재료보다 더 효과적으로 열을 전도 할 수 있습니다. 이 특징은 기질의 온도 균일 성을 유지하여 필름의 품질과 일관성을 향상시키는 데 도움이되기 때문에 질화 질화물 에피 택셜 성장 공정에서 중요합니다.


● 오염 방지: SIC EPI 감수자에 대한 GAN의 재료 및 표면 처리 과정은 성장 환경의 오염을 방지하고 에피 택셜 층에 불순물을 도입하지 않아야합니다.


전문 제조업체로서EPI 수신기의 간, 다공성 흑연그리고TAC 코팅 플레이트중국에서 Vetek 반도체는 항상 맞춤형 제품 서비스를 제공해야하며 업계에 최고의 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 당신의 상담과 협력을 진심으로 기대합니다.


CVD SIC 코팅 필름 결정 구조

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성


CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성
코팅 특성
전형적인 가치
결정 구조
FCC β 상 다결정, 주로 (111) 배향
CVD SIC 코팅 밀도
3.21 g/cm³
경도
2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기
2 ~ 10mm
화학적 순도
99.99995%
열용량
640 J · Kg-1·케이-1
승화 온도
2700 ℃
굽힘 강도
415 MPa RT 4 점
영률
430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율
300W · m-1·케이-1
열 팽창 (CTE)
4.5 × 10-6K-1

반도체 SIC EPI 감수자 생산 상점의 간

GaN on SiC epi susceptor production shops


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