TaC 코팅 흑연 수신기

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Tantalum 카바이드 세라믹 재료 융점 최대 3880 ℃, 화합물의 높은 융점이자 우수한 화학적 안정성이며, 고온 환경은 여전히 ​​안정적인 성능을 유지할 수 있으며, 또한 고온 저항, 화학적 차단 저항성, 우수한 화학 물질도 있습니다. 탄소 재료 및 기타 특성과의 기계적 호환성으로 인해 이상적인 흑연 기질 보호 코팅 물질이됩니다. 탄탈 룸 탄화물 코팅은 가혹한 사용 환경에서 뜨거운 암모니아, 수소 및 실리콘 증기 및 용융 금속의 영향으로부터 흑연 성분을 효과적으로 보호 할 수 있으며, 흑연 성분의 서비스 수명을 크게 연장하고, 흑연에서의 불순물의 이동을 억제합니다. 에피 택시 및 결정 성장의 품질을 보장합니다. 주로 습식 세라믹 프로세스에 사용됩니다.

화학 기상 증착 (CVD)은 흑연의 표면에서 탄탈 럼 탄화물 코팅을위한 가장 성숙하고 최적의 준비 방법입니다.

TAC 코팅 흑연 감수기를위한 CVD TAC 코팅 방법 :

코팅 공정은 각각 탄소 공급원 및 탄탈 룸 공급원으로서 TaCl5 및 프로필렌을 사용하고, 고온 가스화 후 탄탈 룸 펜타 타 클로라이드 증기를 반응 챔버로 가져 오는 캐리어 가스로서 아르곤을 사용한다. 표적 온도 및 압력 하에서, 전구체 재료의 증기는 흑연 부분의 표면에 흡착되며, 분해 및 탄소 공급원의 조합과 같은 일련의 복잡한 화학 반응이 발생한다. 동시에, 전구체의 확산 및 부산물의 탈착과 같은 일련의 표면 반응이 또한 관여한다. 마지막으로, 조밀 한 보호 층이 흑연 부분의 표면에 형성되어, 극한의 환경 조건 하에서 흑연 부분이 안정되지 않도록 보호한다. 흑연 재료의 적용 시나리오는 크게 확장되었습니다.

TAC 코팅 흑연 감수자의 제품 매개 변수 :

생산 상점 :

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :