SiC 에피택시 공정

VeTek Semiconductor의 고유한 초경 코팅은 까다로운 반도체 및 복합 반도체 재료 처리를 위한 SiC 에피택시 공정에서 흑연 부품에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 그 결과 흑연 구성 요소 수명이 연장되고, 반응 화학양론이 보존되고, 에피택시 및 결정 성장 응용 분야로 불순물 이동이 억제되어 수율과 품질이 향상됩니다.

당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속으로부터 고온(최대 2200°C)에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호합니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 흑연 처리 및 측정 기능을 보유하고 있으므로 귀하와 귀하의 특정 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있는 전문 엔지니어 팀과 함께 유료 코팅 또는 풀 서비스를 제공할 수 있습니다. .

화합물 반도체 결정

VeTek Semiconductor는 다양한 부품 및 캐리어에 특수 TaC 코팅을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor의 업계 선도적인 코팅 공정을 통해 TaC 코팅은 고순도, 고온 안정성 및 높은 내화학성을 얻을 수 있어 결정 TaC/GaN) 및 EPl 층의 제품 품질을 향상시키고 중요한 원자로 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다.

단열재

도가니, 시드 홀더, 디플렉터 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품. 저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 어셈블리, 웨이퍼 캐리어, 위성 트레이, 샤워 헤드, 캡 및 받침대를 포함한 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 구성 요소, MOCVD 구성 요소.

목적:

● LED(Light Emitting Diode) 웨이퍼캐리어

● ALD(반도체) 수신기

● EPI 수용체(SiC 에피택시 공정)

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터 SiC 에피택셜 반응기용 TaC 코팅 링 TaC 코팅 세잎 반지 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

SiC 코팅과 TaC 코팅의 비교:

	SiC	TaC
주요 특징	초고순도, 우수한 내플라즈마성	우수한 고온 안정성(고온 공정 적합성)
청정	>99.9999%	>99.9999%
밀도(g/cm2³)	3.21	15
경도(kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
비저항 [Ωcm]	0.1-15,000	<1
열전도율(W/m-K)	200-360	22
열팽창계수(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
애플리케이션	반도체장비 세라믹지그(포커스링, 샤워헤드, 더미웨이퍼)	SiC 단결정성장, Epi, UV LED 장비부품

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탄탈 룸 카바이드 TAC 코팅 하프문

CVD TAC 코팅으로 코팅 된 Halfmoon 부품은 SIC 코팅 Halfmoon Part보다 내구성이 뛰어납니다. Vetek Semiconductor는 Tantalum Carbide TAC Coated Halfmoon의 주요 제조업체 및 공급 업체입니다. 가격. 장기 협력에 대한 추가 논의를 위해 공장을 방문하여 환영합니다.

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TaC 코팅 세잎 반지

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 TaC 코팅 3잎 링 제조업체이자 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 TaC 및 SiC 코팅을 전문으로 해왔습니다. 당사의 제품은 내식성과 고강도를 갖추고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다. 언제든지 상담을 환영합니다.

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탄탈륨 탄화물 코팅 척

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 탄탈 룸 탄화물 코팅 척 제조업체 및 혁신가이며, 수년간 TAC 코팅을 전문으로 해왔습니다.

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탄탈 룸 탄화물 코팅 커버

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 탄탈 룸 탄화물 코팅 커버 제조업체이자 혁신가이며 수년간 TAC 및 SIC 코팅을 전문으로 해왔으며 우리의 제품은 부식성, 높은 강도를 가지고 있습니다. 우리는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다. 언제든지 상담하십시오.

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탄탈륨 탄화물 코팅 커버

탄탈 룸 탄화물 코팅 커버는 고급 흑연 및 TAC 코팅으로 구성됩니다. Vetek Semiconductor는 중국의 Tantalum Carbide 코팅 커버의 주요 공급 업체 및 제조업체입니다. 우리는 고순도, 고온 저항성 탄탈 룸 카바이드 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 우리의 탄탈 룸 카바이드 코팅 커버는 탁월한 성능과 신뢰성을 가지며 매우 높은 온도와 부식성 환경에서 재료를 효과적으로 보호 할 수 있습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다. 언제든지 상담에 오신 것을 환영합니다.

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TAC 코팅 디플렉터 링

Vetek 반도체의 TAC 코팅 디플렉터 링은 SIC 결정 성장 공정을 위해 설계된 고도로 전문화 된 구성 요소입니다. TAC 코팅은 결정 성장 과정에서 고온 및 부식성 환경에 대처하기 위해 우수한 고온 저항성 및 화학적 불활성을 제공합니다. 이를 통해 구성 요소의 안정적인 성능과 긴 수명을 보장하여 교체 빈도와 다운 타임이 줄어 듭니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 양질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다. 언제든지 상담 할 수 있습니다.

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중국의 전문가 SiC 에피택시 공정 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 SiC 에피택시 공정을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.