SiC 에피택시 공정

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터는 MOCVD 유성 반응기의 핵심 구성 요소 중 하나입니다. CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터를 통해 큰 디스크 궤도와 작은 디스크가 회전하며 수평 흐름 모델이 멀티 칩 장비로 확장되어 단일의 고품질 에피택시 파장 균일성 관리와 결함 최적화를 모두 갖습니다. -칩 기계 및 멀티 칩 기계의 생산 비용 이점. VeTek Semiconductor는 고객에게 고도로 맞춤화된 CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터를 제공할 수 있습니다. Aixtron과 같은 유성 MOCVD 용광로를 만들고 싶다면 우리에게 오십시오!

Vetek Semiconductor는 Gan Epitaxy 감수자의 세계적 수준의 제조업체이자 공급 업체 인 중국 회사입니다. 우리는 실리콘 카바이드 코팅 및 Gan 에피 택시 감수체와 같은 반도체 산업에서 오랫동안 일해 왔습니다. 우수한 제품과 유리한 가격을 제공 할 수 있습니다. Vetek 반도체는 장기 파트너가되기를 기대합니다.

VeTek Semiconductor TaC 코팅 웨이퍼 서셉터는 탄화규소 에피택셜 성장을 위해 탄탈륨 탄화물로 코팅된 흑연 트레이로, 웨이퍼 품질과 성능을 향상시킵니다. 뛰어난 SiC 에피택시 결과와 연장된 서셉터 수명을 보장하는 고급 코팅 기술과 내구성 있는 솔루션 때문에 VeTek이 선택되었습니다. 추가 문의를 환영합니다.

Vetek 반도체 TAC 코팅 가이드 링은 중국의 TAC 코팅 가이드 링 제품의 주요 제조업체로서 MOCVD 장비의 중요한 구성 요소로, 에피 택셜 성장 중에 정확하고 안정적인 가스 전달을 보장하며 반도체 에피축 성장에서 없어서는 안될 재료입니다. 당사와 상담에 오신 것을 환영합니다.

Vetek 반도체는 중국의 다공성 탄탈 룸 카바이드 제품의 전문 제조업체이자 리더입니다. 다공성 탄탈 럼 탄화물은 일반적으로 화학 증기 증착 (CVD) 방법에 의해 제조되며, 기공 크기 및 분포의 정확한 제어를 보장하며 고온 극한 환경 전용 물질 도구입니다. 추가 상담을 환영합니다.

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 가이드 링은 화학 기상 증착(CVD)이라는 첨단 기술을 사용하여 흑연 부품에 탄탈륨 카바이드 코팅을 적용하여 만들어졌습니다. 이 방법은 잘 확립되어 있으며 뛰어난 코팅 특성을 제공합니다. TaC 코팅 가이드 링을 활용하면 흑연 부품의 수명을 대폭 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 SiC 및 AIN 단결정 품질을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.