SiC 에피택시 공정

VeTek Semiconductor의 고유한 초경 코팅은 까다로운 반도체 및 복합 반도체 재료 처리를 위한 SiC 에피택시 공정에서 흑연 부품에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 그 결과 흑연 구성 요소 수명이 연장되고, 반응 화학양론이 보존되고, 에피택시 및 결정 성장 응용 분야로 불순물 이동이 억제되어 수율과 품질이 향상됩니다.

당사의 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 뜨거운 암모니아, 수소, 실리콘 증기 및 용융 금속으로부터 고온(최대 2200°C)에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호합니다. VeTek Semiconductor는 귀하의 맞춤형 요구 사항을 충족할 수 있는 광범위한 흑연 처리 및 측정 기능을 보유하고 있으므로 귀하와 귀하의 특정 응용 분야에 적합한 솔루션을 설계할 준비가 되어 있는 전문 엔지니어 팀과 함께 유료 코팅 또는 풀 서비스를 제공할 수 있습니다. .

화합물 반도체 결정

VeTek Semiconductor는 다양한 부품 및 캐리어에 특수 TaC 코팅을 제공할 수 있습니다. VeTek Semiconductor의 업계 선도적인 코팅 공정을 통해 TaC 코팅은 고순도, 고온 안정성 및 높은 내화학성을 얻을 수 있어 결정 TaC/GaN) 및 EPl 층의 제품 품질을 향상시키고 중요한 원자로 구성 요소의 수명을 연장할 수 있습니다.

단열재

도가니, 시드 홀더, 디플렉터 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 부품. 저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 어셈블리, 웨이퍼 캐리어, 위성 트레이, 샤워 헤드, 캡 및 받침대를 포함한 GaN 및 SiC 에피택셜 CVD 반응기 구성 요소, MOCVD 구성 요소.

목적:

● LED(Light Emitting Diode) 웨이퍼캐리어

● ALD(반도체) 수신기

● EPI 수용체(SiC 에피택시 공정)

CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터 SiC 에피택셜 반응기용 TaC 코팅 링 TaC 코팅 세잎 반지 LPE용 탄탈륨 카바이드 코팅 하프문 부품

SiC 코팅과 TaC 코팅의 비교:

	SiC	TaC
주요 특징	초고순도, 우수한 내플라즈마성	우수한 고온 안정성(고온 공정 적합성)
청정	>99.9999%	>99.9999%
밀도(g/cm2³)	3.21	15
경도(kg/mm²)	2900-3300	6.7-7.2
비저항 [Ωcm]	0.1-15,000	<1
열전도율(W/m-K)	200-360	22
열팽창계수(10^-6/℃)	4.5-5	6.3
애플리케이션	반도체장비 세라믹지그(포커스링, 샤워헤드, 더미웨이퍼)	SiC 단결정성장, Epi, UV LED 장비부품

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다공성 탄탈 룸 카바이드

Vetek 반도체는 중국의 다공성 탄탈 룸 카바이드 제품의 전문 제조업체이자 리더입니다. 다공성 탄탈 럼 탄화물은 일반적으로 화학 증기 증착 (CVD) 방법에 의해 제조되며, 기공 크기 및 분포의 정확한 제어를 보장하며 고온 극한 환경 전용 물질 도구입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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TaC 코팅 가이드 링

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 가이드 링은 화학 기상 증착(CVD)이라는 첨단 기술을 사용하여 흑연 부품에 탄탈륨 카바이드 코팅을 적용하여 만들어졌습니다. 이 방법은 잘 확립되어 있으며 뛰어난 코팅 특성을 제공합니다. TaC 코팅 가이드 링을 활용하면 흑연 부품의 수명을 대폭 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 SiC 및 AIN 단결정 품질을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

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탄탈 룸 카바이드 링

Vetek 반도체 탄탈 룸 카바이드 링은 중국의 탄탈 룸 카바이드 링 제품의 고급 제조업체이자 생산자로서 매우 높은 경도, 내마모성, 고온 저항성 및 화학적 안정성을 가지며 반도체 제조 분야에서 널리 사용됩니다. 특히 CVD, PVD, 이온 이식 공정, 에칭 프로세스 및 웨이퍼 처리 및 운송에서 반도체 처리 및 제조에는 필수 제품입니다. 추가 상담을 기대합니다.

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탄탈륨 탄화물 코팅 지지대

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support는 중국의 제품 제조업체 및 공장으로서 전문적인 탄탈 카바이드 코팅을지지합니다. 일반적으로 반도체 장비의 구조적 구성 요소 또는지지 부품의 표면 코팅, 특히 CVD 및 PVD와 같은 반도체 제조 공정에서 주요 장비 구성 요소의 표면 보호에 사용됩니다. 추가 상담을 환영합니다.

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탄탈 룸 카바이드 가이드 링

Vetek Semiconductor는 중국의 Tantalum Carbide Guide Ring 제품의 전문 제조업체이자 리더입니다. 우리의 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 가이드 링은 탄탈 룸 카바이드로 만들어진 고성능 고리 구성 요소로, 특히 고온 처리기, 특히 CVD, PVD, 에칭 및 확산과 같은 고온 및 고 부식 환경에서 일반적으로 사용됩니다. Vetek 반도체는 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있으며 추가 문의를 환영합니다.

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TaC 코팅 회전 서셉터

중국 TaC 코팅 회전 서셉터 제품의 전문 제조업체이자 혁신가이자 리더입니다. VeTek Semiconductor TaC 코팅 회전 서셉터는 일반적으로 화학 기상 증착(CVD) 및 분자선 에피택시(MBE) 장비에 설치되어 웨이퍼를 지지하고 회전시켜 균일한 재료 증착과 효율적인 반응을 보장합니다. 반도체 공정의 핵심 부품입니다. 추가 상담을 환영합니다.

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중국의 전문가 SiC 에피택시 공정 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 SiC 에피택시 공정을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.