실리콘 카바이드 웨이퍼 척

Vetek 반도체 실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 실리콘 카바이드 재료의 탁월한 특성을 사용하여 반도체 생산의 엄격한 요구 사항, 특히 매우 높은 정밀도와 신뢰성이 필요한 반도체 처리에서 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다.

반도체 처리 프로세스에서실리콘 카바이드우수한 고온 저항이 우수하며 (최대 1400 ° C에서 안정적으로 작동 할 수 있음), 낮은 전도도 (SIC는 전도도가 상대적으로 낮으며 일반적으로 10^^-3S/M) 및 낮은 열 팽창 계수 (약 4.0 × 10^^-6/° C)는 필수적이고 중요한 재료이며, 특히 실리콘 카바이드 웨이퍼 척의 제조에 적합합니다.

동안에피 택셜 성장 과정, 반도체 재료의 얇은 층을 기판 상에 증착시켜 웨이퍼로부터의 절대 안정성을 요구하여 균일하고 고품질 필름 증착 층을 보장한다. SIC 진공 척은 웨이퍼의 움직임 또는 변형을 방지하기 위해 확고하고 일관된 진공 상태를 만들어이를 달성합니다.

실리콘 카바이드 웨이퍼 척은 또한 열 충격에 대한 탁월한 저항을 제공합니다. 반도체 제조에서는 빠른 온도 변화가 일반적이며 이러한 변동을 견딜 수없는 재료는 금이 가거나 구부러 지거나 실패 할 수 있습니다. 실리콘 카바이드는 열 팽창 계수가 낮으며 급격한 온도 변화에서도 모양과 기능을 유지할 수 있으므로 운동이나 오정렬없이 에피 택시 과정에서 웨이퍼가 안전하게 유지되도록합니다.

또한,에피 택시 과정종종 반응성 가스 및 기타 부식성 화학 물질을 포함합니다. SIC 웨이퍼 척의 화학적 불활성은 이러한 가혹한 환경의 영향을받지 않도록하여 성능을 유지하고 서비스 수명을 확장합니다. 이 화학적 내구성은 웨이퍼 척 교체의 빈도를 줄일뿐만 아니라 여러 생산주기에 걸쳐 일관된 제품 성능을 보장하여 반도체 제조 공정의 전반적인 효율성과 비용 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

Vetek Semiconductor는 중국의 실리콘 카바이드 웨이퍼 척 제품의 주요 제조업체이자 공급 업체입니다. 우리는 다음과 같은 다양한 유형의 척 제품을 제공 할 수 있습니다.다공성 sic 세라믹 척, 다공성 sic 진공 척, 다공성 세라믹 진공 척그리고TAC 코팅 척Vetek 반도체는 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 당신의 장기 파트너가되기를 바랍니다.

SEM 데이터 CVDSIC 필름 결정 구조：

Vetek 반도체 실리콘 카바이드 웨이퍼 척장：