TAC 코팅 예비 부품

TAC 코팅은 현재 실리콘 카바이드 단결정 성장 (PVT 방법), 에피 택시 디스크 (실리콘 카바이드 에피 택시, LED 에피 택시 포함)와 같은 공정에 주로 사용됩니다. TAC 코팅 플레이트의 우수한 장기 안정성과 결합 된 Veteksemicon의 TAC 코팅 플레이트는 TAC 코팅 부품의 벤치 마크가되었습니다. 우리는 당신이 우리의 장기 파트너가되기를 고대합니다.

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제품 설명

반도체TAC 코팅 플레이트널리 사용되는 특수 자료입니다반도체제조 공정. 높은 경도 및 내마모성, 고온 저항, 부식성, 낮은 마찰 계수 및 우수한 열전도율과 결합 된 TAC 코팅 플레이트는 반도체 처리의 많은 링크에서 대체 할 수없는 역할을합니다.

일반적으로 응용 프로그램TAC 코팅 플레이트반도체 처리에서는 다음과 같습니다.

● CVD/ALD 성장 기판: TAC 코팅 플레이트의 고온 저항, 화학적 안정성 및 낮은 마찰 계수는 이상적인 CVD/ALD 성장 기판을 만듭니다. 필름의 균일 성과 밀도를 보장하기 위해 안정적인 성장 환경을 제공 할 수 있습니다.

● 에칭 마스크 플레이트: TAC 코팅 된 플레이트의 높은 경도 및 부식 저항은 플라즈마 에칭과 같은 고 에너지 공정을 에칭 마스크 플레이트와 같은 고 에너지 공정을 견딜 수있게하여 기본 필름을 보호 할 수 있습니다.

● CMP 연마 패드: TAC 코팅 플레이트의 내마모성 및 낮은 마찰 계수는 CMP 연마 패드에 이상적인 재료를 만들어 필름 표면의 입자와 결함을 효과적으로 제거 할 수 있습니다.

● 고온 용광로 튜브: TAC 코팅 플레이트의 고온 저항 및 부식 저항은 고온 어닐링, 확산 및 기타 공정을 위해 고온 용광로의 용광로 튜브로 사용할 수있게합니다.

CVD TAC 코팅 기술 매개 변수：

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성
재산	전형적인 가치
결정 구조	FCC β 상 다결정, 주로 (111) 배향
CVD SIC 코팅 밀도	3.21 g/cm³
SIC 코팅 경도	2500 Vickers 경도 (500g 부하)
곡물 크기	2 ~ 10mm
화학적 순도	99.99995%
열용량	640 J · Kg^-1·케이^-1
승화 온도	2700 ℃
굽힘 강도	415 MPa RT 4 점
영률	430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율	300W · m^-1·케이^-1
열 팽창 (CTE)	4.5 × 10^-6K^-1