탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Excellent properties of TaC coating graphite

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

●온도 안정성

●초고순도

●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

●열 재고에 대한 저항

●흑연과의 강한 접착력

●컨포멀 코팅 적용 범위

● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

●웨이퍼 캐리어

● 유도가열 서셉터

● 저항 발열체

●위성 디스크

●샤워 헤드

●가이드 링

●LED 에피 수신기

●분사노즐

●마스킹 링

● 열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

EDX data of TaC coating

TaC 코팅 결정 구조 데이터:

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
그들을	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크
TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅수신기 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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CVD TAC 코팅 링

반도체 산업에서 CVD TAC 코팅 링은 실리콘 카바이드 (SIC) 결정 성장 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 매우 유리한 구성 요소입니다. Vetek 반도체의 CVD TAC 코팅 링은 뛰어난 고온 저항성과 화학적 불활성을 제공하므로 온도가 높고 부식성 조건이 특징 인 환경에 이상적인 선택입니다. PLS는 더 많은 질문을 받으려면 저희에게 연락하십시오.

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lpe sic epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon은 LPE 리액터 SiC 에피택시 공정을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 제품인 수평 에피택시로를 위한 특수 설계입니다. 이 최첨단 솔루션은 제조 작업 전반에 걸쳐 뛰어난 성능과 효율성을 보장하는 몇 가지 주요 기능을 자랑합니다. Vetek Semiconductor는 6인치, 8인치 LPE SiC Epi 하프문을 전문적으로 제조하고 있습니다. 귀하와의 장기적인 협력을 기대하고 있습니다.

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LED EPI

Vetek 반도체는 TAC 코팅 및 SIC 코팅 흑연 부품의 주요 공급 업체입니다. 우리는 LED 에피 택시 프로세스에 필수적인 최첨단 LED EPI 감수기 생산을 전문으로합니다. 추가 상담을 기대합니다.

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TAC 코팅이있는 MoCVD 감수자

VeTek Semiconductor는 TaC 코팅 및 SiC 코팅 부품의 연구, 개발, 생산, 설계 및 판매를 담당하는 종합 공급업체입니다. 당사의 전문 기술은 LED 에피택시 공정에서 중요한 역할을 하는 TaC 코팅이 적용된 최첨단 MOCVD 서셉터 생산에 있습니다. 문의 사항 및 추가 정보에 대해 논의해 보시기 바랍니다.

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TAC 코팅 된 깊은 UV LED 감수기

TAC 코팅은 가혹한 환경을위한 새로운 세대 코팅 개발입니다. Vetek Semiconductor는 TAC 코팅의 연구 개발, 생산, 설계 및 판매에 참여하는 통합 공급 업체입니다. 우리는 LED 에피 택시 공정에서 중요한 구성 요소 인 제조 에지 절단 TAC 코팅 UV LED 감수자를 전문으로합니다. 당사의 TAC 코팅 딥 UV LED 감수기는 높은 열전도율, 높은 기계적 강도, 개선 된 생산 효율 및 에피 택셜 웨이퍼 보호를 제공합니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

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탄탈 룸 카바이드 TAC 코팅 하프문

CVD TAC 코팅으로 코팅 된 Halfmoon 부품은 SIC 코팅 Halfmoon Part보다 내구성이 뛰어납니다. Vetek Semiconductor는 Tantalum Carbide TAC Coated Halfmoon의 주요 제조업체 및 공급 업체입니다. 가격. 장기 협력에 대한 추가 논의를 위해 공장을 방문하여 환영합니다.

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중국의 전문가 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.