탄탈륨 카바이드 코팅

VeTek 반도체는 반도체 산업을 위한 탄탈륨 카바이드 코팅 재료의 선도적인 제조업체입니다. 당사의 주요 제품으로는 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅 부품, SiC 결정 성장 또는 반도체 에피택시 공정용 소결 TaC 코팅 부품이 있습니다. ISO9001을 통과한 VeTek Semiconductor는 품질에 대한 통제력이 뛰어납니다. VeTek Semiconductor는 반복적인 기술의 지속적인 연구 및 개발을 통해 탄탈륨 카바이드 코팅 산업의 혁신자가 되기 위해 최선을 다하고 있습니다.

주요 제품은TaC 코팅 가이드 링, CVD TaC 코팅 세 꽃잎 가이드 링, 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅 하프문, CVD TaC 코팅 유성 SiC 에피택셜 서셉터, 탄탈륨 카바이드 코팅 링, 탄탈륨 카바이드 코팅 다공성 흑연, TaC 코팅 회전 서셉터, 탄탈륨 카바이드 링, TaC 코팅 회전판, TaC 코팅 웨이퍼 서셉터, TaC 코팅 디플렉터 링, CVD TaC 코팅 커버, TaC 코팅척등, 순도는 5ppm 미만이며 고객 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

TaC 코팅 흑연은 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 고순도 흑연 기판의 표면을 미세한 탄탈륨 탄화물 층으로 코팅하여 생성됩니다. 장점은 아래 그림에 나와 있습니다.

Excellent properties of TaC coating graphite

탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 최대 3880°C의 높은 융점, 우수한 기계적 강도, 경도 및 열충격에 대한 저항성으로 인해 주목을 받고 있으며, 더 높은 온도 요구 사항이 있는 화합물 반도체 에피택시 공정에 대한 매력적인 대안이 되고 있습니다. Aixtron MOCVD 시스템 및 LPE SiC 에피택시 공정과 같은 PVT 방식의 SiC 결정 성장 공정에도 폭넓게 적용됩니다.

주요 특징:

●온도 안정성

●초고순도

●H2, NH3, SiH4, Si에 대한 내성

●열 재고에 대한 저항

●흑연과의 강한 접착력

●컨포멀 코팅 적용 범위

● 직경 최대 750mm(중국 유일의 제조업체가 이 크기에 도달함)

응용:

●웨이퍼 캐리어

● 유도가열 서셉터

● 저항 발열체

●위성 디스크

●샤워 헤드

●가이드 링

●LED 에피 수신기

●분사노즐

●마스킹 링

● 열 차폐

미세한 단면에 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor 탄탈륨 카바이드 코팅의 매개변수:

TaC 코팅의 물리적 특성
밀도	14.3(g/cm3)
특정 방사율	0.3
열팽창계수	6.3 10^-6/케이
경도(홍콩)	2000홍콩
저항	1×10^-5옴*cm
열 안정성	<2500℃
흑연 크기 변화	-10~-20um
코팅 두께	≥20um 일반 값(35um±10um)

TaC 코팅 EDX 데이터：

EDX data of TaC coating

TaC 코팅 결정 구조 데이터:

요소	원자퍼센트
	백금. 1	백금. 2	백금. 3	평균
씨케이	52.10	57.41	52.37	53.96
그들을	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC 코팅척 TaC 코팅 유성디스크
TaC 코팅판 TaC 코팅 회전판 TaC 코팅수신기 CVD TaC 코팅 커버 CVD TaC 코팅링 TaC 코팅판

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TaC 코팅 세잎 반지

VeTek Semiconductor는 중국의 선도적인 TaC 코팅 3잎 링 제조업체이자 혁신업체입니다. 우리는 수년 동안 TaC 및 SiC 코팅을 전문으로 해왔습니다. 당사의 제품은 내식성과 고강도를 갖추고 있습니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대합니다. 언제든지 상담을 환영합니다.

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탄탈륨 탄화물 코팅 척

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 탄탈 룸 탄화물 코팅 척 제조업체 및 혁신가이며, 수년간 TAC 코팅을 전문으로 해왔습니다.

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탄탈 룸 탄화물 코팅 커버

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 탄탈 룸 탄화물 코팅 커버 제조업체이자 혁신가이며 수년간 TAC 및 SIC 코팅을 전문으로 해왔으며 우리의 제품은 부식성, 높은 강도를 가지고 있습니다. 우리는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다. 언제든지 상담하십시오.

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TAC 코팅 된 다공성 흑연

TAC 코팅을 갖는 다공성 흑연은 Vetek 반도체가 제공하는 고급 반도체 처리 재료이다. TAC 코팅 된 다공성 흑연은 우수한 열전도율 및 가스 투과성과 다공성 흑연 및 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅의 장점을 결합합니다. Vetek 반도체는 경쟁력있는 가격으로 고품질 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.

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탄탈륨 탄화물 코팅 커버

탄탈 룸 탄화물 코팅 커버는 고급 흑연 및 TAC 코팅으로 구성됩니다. Vetek Semiconductor는 중국의 Tantalum Carbide 코팅 커버의 주요 공급 업체 및 제조업체입니다. 우리는 고순도, 고온 저항성 탄탈 룸 카바이드 제품을 제공하는 데 중점을 둡니다. 우리의 탄탈 룸 카바이드 코팅 커버는 탁월한 성능과 신뢰성을 가지며 매우 높은 온도와 부식성 환경에서 재료를 효과적으로 보호 할 수 있습니다. 우리는 중국에서 장기 파트너가되기를 기대합니다. 언제든지 상담에 오신 것을 환영합니다.

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TAC 코팅 디플렉터 링

Vetek 반도체의 TAC 코팅 디플렉터 링은 SIC 결정 성장 공정을 위해 설계된 고도로 전문화 된 구성 요소입니다. TAC 코팅은 결정 성장 과정에서 고온 및 부식성 환경에 대처하기 위해 우수한 고온 저항성 및 화학적 불활성을 제공합니다. 이를 통해 구성 요소의 안정적인 성능과 긴 수명을 보장하여 교체 빈도와 다운 타임이 줄어 듭니다. 우리는 경쟁력있는 가격으로 양질의 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있으며 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다. 언제든지 상담 할 수 있습니다.

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중국의 전문가 탄탈륨 카바이드 코팅 제조업체 및 공급 업체로서 우리는 자체 공장을 가지고 있습니다. 해당 지역의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤형 서비스가 필요하거나 중국에서 만든 고급 및 내구성 탄탈륨 카바이드 코팅을 구매하려면 메시지를 남길 수 있습니다.