탄탈륨 탄화물 코팅 지지대

Vetek 반도체의 주요 기능탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅지원은내열성, 내마모성 및 부식 저항공정의 정확성과 신뢰성을 향상시키고 구성 요소의 서비스 수명을 확장하기 위해 탄탈 룸 탄화물 코팅 층을 코팅함으로써 기판의. 반도체 처리 분야에서 사용되는 고성능 코팅 제품입니다.

Vetek 반도체의 탄탈 룸 카바이드 코팅 지지대는 거의 9 ~ 10의 Mohs 경도를 가지고 있으며, 이는 다이아몬드에 이어 두 번째입니다. 내마모성이 매우 강하고 가공 중에 표면 마모와 충격에 효과적으로 저항 할 수 있으므로 장비 구성 요소의 서비스 수명을 효과적으로 확장 할 수 있습니다. 약 3880 ° C의 높은 용융점과 결합하여, 내 손자 내성 및 고온 저항성을 향상시키기 위해지지 구조의 표면 코팅, 열처리 장비, 챔버 또는 개스킷과 같은 반도체 장비의 주요 구성 요소를 코팅하는 데 종종 사용됩니다.

약 3880 ° C의 탄탈 럼 탄화물의 매우 높은 융점으로 인해 반도체 처리 공정에서화학 기상 증착 (CVD)그리고물리 증기 증착 (PVD), 강한 고온 저항성 및 화학적 부식성을 갖는 TAC 코팅은 장비 구성 요소를 효과적으로 보호하고 극한 환경에서 기판의 부식 또는 손상을 방지하여 웨이퍼 제조의 고온 환경을 효과적으로 보호 할 수 있습니다. 이 기능은 또한 Vetek Semiconductor의 Tantalum 탄화물 코팅 지지대가 종종 에칭 및 부식 공정에 사용되는 것으로 결정합니다.

탄탈 룸 탄화물 코팅 지지대는 또한 입자 오염을 감소시키는 기능을 갖는다. 웨이퍼 가공 동안, 표면 마모는 일반적으로 미립자 오염을 생성하여 웨이퍼의 제품 품질에 영향을 미칩니다. TAC 코팅의 9-10 MOHS 경도에 가까운 TAC 코팅의 극단적 인 제품 특성은이 마모를 효과적으로 감소시켜 입자의 생성을 줄일 수 있습니다. TAC 코팅의 우수한 열전도율 (약 21 w/m · k)과 결합하여 고온 조건에서 우수한 열전도율을 유지하여 웨이퍼 제조의 수율 및 일관성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

Vetek 반도체의 주요 TAC 코팅 제품에는 포함됩니다TAC 코팅 히터, CVD TAC 코팅 도가니, TAC 코팅 회전 감수기그리고TAC 코팅 예비 부품등을 지원하고 맞춤형 제품 서비스를 지원합니다. Vetek 반도체는 반도체 산업에 우수한 제품 및 기술 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리는 진심으로 중국에서 당신의 장기 파트너가되기를 바랍니다.

현미경 단면에서 탄탈 룸 탄화물 (TAC) 코팅:

CVD TAC 코팅의 기본 물리적 특성：