탄탈 룸 카바이드 가이드 링

반도체탄탈 룸 카바이드 가이드 린g제작되었습니다석묵그리고탄탈 럼 탄화물로 코팅, 우수한 성능과 수명을 보장하기 위해 두 재료의 최상의 특성을 활용하는 조합.

그만큼TAC 코팅탄탈륨 카바이드 가이드 링은 수소, 아르곤 및 질소와 같은 가스를 포함하는 SiC 결정 성장 용광로의 반응성 대기에서 화학적으로 불활성을 유지하도록합니다. 이 화학적 불활성은 성장하는 결정의 오염을 방지하는 데 필수적이며, 이는 최종 반도체 제품의 결함과 성능을 감소시킬 수 있습니다. 또한, TAC 코팅에 의해 제공되는 열 안정성은 탄탈 룸 카바이드 코팅 가이드 링이 필요한 고온에서 효과적으로 작동 할 수있게한다.SIC 결정 성장, 일반적으로 2000 ° C를 초과합니다.

또한, 탄탈 룸 탄화물 코팅 고리에서 흑연과 TAC의 조합은 결정 성장 용광로 내의 열 관리를 최적화한다. 흑연의 높은 열전도율은 열을 효율적으로 분배하여 핫스팟을 방지하고 균일 한 결정 성장을 촉진합니다. 한편, 탄탈 룸 카바이드 코팅은 열 장벽으로 작용하여 흑연 코어가 고온 및 반응성 가스에 직접 노출되지 않도록 보호합니다. 코어와 코팅 재료 사이의 이러한 시너지는 SIC 결정 성장의 가혹한 조건을 견딜뿐만 아니라 공정의 전반적인 효율과 품질을 향상시키는 가이드 링을 초래합니다.

Vetek 반도체 탄탈 룸 카바이드의 기계적 특성은 탄탈 룸 카바이드 코팅 링의 마모를 크게 줄입니다. 이것은 반복적 인 특성으로 인해 중요합니다.결정 성장 과정가이드 링을 빈번한 열 사이클 및 기계적 응력에 노출시킵니다. Tantalum Carbide의 경도 및 내마모성은 가이드 링이 장기간에 걸쳐 구조적 무결성과 정확한 치수를 유지하여 자주 교체의 필요성을 최소화하고 제조 공정에서 다운 타임을 줄입니다.

Vetek 반도체 Tantalum 카바이드 코팅 가이드 링은 반도체 산업의 필수 구성 요소이며, 특히 성장을 위해 설계되었습니다.실리콘 카바이드 결정. 디자인은 흑연과 탄탈 룸의 강점을 활용하여 고온의 고 스트레스 환경에서 탁월한 성능을 제공합니다. TAC 코팅은 화학적 불활성, 기계적 내구성 및 열 안정성을 보장하며, 모두 고품질 SIC 결정을 생성하는 데 중요합니다. 가이드 링은 극한 조건 하에서 무결성과 기능을 유지함으로써 SIC 결정의 효율적이고 결함이없는 성장을 지원하여 고출력 및 고주파 반도체 장치의 발전에 기여합니다.

현미경 단면에서 탄탈 룸 탄화물 (TAC) 코팅:

TAC 코팅의 물리적 특성: