TaC 코팅 가이드 링

VeTek Semiconductor의 TaC 코팅 가이드 링은 화학 기상 증착(CVD)이라는 첨단 기술을 사용하여 흑연 부품에 탄탈륨 카바이드 코팅을 적용하여 만들어졌습니다. 이 방법은 잘 확립되어 있으며 뛰어난 코팅 특성을 제공합니다. TaC 코팅 가이드 링을 활용하면 흑연 부품의 수명을 대폭 연장하고 흑연 불순물의 이동을 억제하며 SiC 및 AIN 단결정 품질을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 문의에 오신 것을 환영합니다.

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제품 설명

VeTek Semiconductor는 전문적인 중국 TaC 코팅 가이드 링, TaC 코팅 도가니, 시드 홀더 제조업체 및 공급업체입니다.

SIC 및 AIN 단결정 용광로의 TAC 코팅 도가니, 종자 홀더 및 TAC 코팅 가이드 링을 PVT 방법에 의해 성장시켰다.

물리 증기 수송 방법 (PVT)이 SIC를 준비하는 데 사용될 때, 종자 결정은 비교적 저온 영역에 있고, SIC 원료는 비교적 고온 영역 (2400 ℃ 이상)에있다. 원료 분해는 Sixcy (주로 Si, Sic₂, Si₂c 등)를 생성합니다. 증기 상 물질은 고온 영역에서 저온 영역의 종자 결정으로 전달되고, 핵 생성 및 성장된다. 단결정을 형성합니다. 이 공정에 사용 된 열 전계 재료는 Crucible, Flow Guide Ring, Seed Crystal Holder와 같은 고온에 내성이 있어야하며 SIC 원료 및 SIC 단결정을 오염시키지 않아야합니다. 유사하게, ALN 단일 결정의 성장에서의 가열 요소는 Al 증기, N ₂ 부식에 내성이 있어야하며, 결정 제제 기간을 단축하기 위해 높은 공융 온도 (및 ALN)가 필요하다.

TAC 코팅 된 흑연 열 전계 재료에 의해 제조 된 SIC 및 ALN은 더 깨끗하고 거의 탄소 (산소, 질소) 및 기타 불순물, 더 적은 모서리 결함, 각 영역의 작은 저항력 및 미세 조밀도 및 에칭 구덩이 밀도가 없음으로 밝혀졌습니다. 크게 감소 (코 에칭 후), 결정 품질이 크게 향상되었습니다. 또한, TAC Crucible 체중 감량 속도는 거의 0이고, 외관은 비파괴 적이며, 재활용 될 수 있으며 (최대 200h), 그러한 단결정 제조의 지속 가능성과 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

SiC prepared by PVT method