실리콘 카바이드 세라믹 코팅

반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅매우 단단하고 내마모성 실리콘 카바이드 (SIC) 재료로 만들어진 고성능 보호 코팅으로, 우수한 화학적 차단 저항성 및 고온 안정성을 제공합니다. 이러한 특성은 반도체 생산에 중요하므로 실리콘 카바이드 세라믹 코팅은 반도체 제조 장비의 주요 구성 요소에 널리 사용됩니다.

반도체 생산에서 Vetek 반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅이 수행하는 특정 역할은 다음과 같습니다.다음과 같이:

장비 내구성 향상: 실리콘 카바이드 세라믹 코팅은 매우 높은 경도와 내마모성을 가진 반도체 제조 장비에 대한 우수한 표면 보호 기능을 제공합니다. 특히 화학 증기 증착 (CVD) 및 플라즈마 에칭과 같은 고온, 고 부식 공정 환경에서, 실리콘 카바이드 세라믹 코팅은 화학적 침식 또는 물리 마모로 인해 장비 표면의 손상을 효과적으로 방지 할 수 있으며, 따라서 장비의 서비스 수명을 크게 확장하고 빈번한 교체 및 수정으로 인한 다운 타임을 감소시킬 수 있습니다.

프로세스 순도를 향상시킵니다: 반도체 제조 공정에서 작은 오염은 제품 결함을 유발할 수 있습니다. 실리콘 카바이드 세라믹 코팅의 화학적 불활성은 극한 조건 하에서 안정적으로 유지하고, 재료가 입자 나 불순물을 방출하는 것을 방지하며, 과정에서 환경의 순도를 보장합니다. 이것은 PECVD 및 이온 임플란트와 같은 높은 정밀도 및 높은 청결이 필요한 제조 단계에 특히 중요합니다.

열 관리를 최적화하십시오: 빠른 열 처리 (RTP) 및 산화 공정과 같은 고온 반도체 처리에서 실리콘 카바이드 세라믹 코팅의 높은 열전도율은 장비 내부의 균일 한 온도 분포를 가능하게합니다. 이를 통해 온도 변동으로 인한 열 응력 및 재료 변형을 줄여 제품 제조 정확도와 일관성이 향상됩니다.

복잡한 프로세스 환경 지원 : ICP 에칭 및 PSS 에칭 공정과 같은 복잡한 대기 제어가 필요한 공정에서 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 히터의 안정성 및 산화 저항은 장기 작동에서 장비의 안정적인 성능을 보장하여 환경 변화로 인한 재료 저하 또는 장비 손상의 위험을 줄입니다.

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기본 물리적 특성실리콘 카바이드 세라믹 코팅:

Vetek 반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 상점:

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요: