SIC 코팅지지 링

반도체, 중국에 본사를 둔 주요 제조업체 및 공급 업체는SiC 코팅 지지 링, CVD 실리콘 카바이드 코팅, 탄탈 럼 탄화물 코팅, 벌크 SIC, SIC 분말 및 고급 SIC 재료. 우리의 헌신은 반도체 부문에 맞는 포괄적 인 기술 지원과 최적의 제품 해결을 제공하는 데 있습니다. 자세한 내용과 지원을 위해 저희에게 문의하십시오.

반도체'에스SiC 코팅 지지 링고온 내성 재료의 새로운 세대입니다. 내식성 코팅, 내산화성 코팅, 내마모성 코팅으로 1650℃ 이상의 환경에서 사용할 수 있으며 반도체 분야에서 널리 사용됩니다.

고품질 특성SiC 코팅 지지 링3 세대 반도체 구성 요소의 에피 택셜 성장에서 매우 중요한 역할을합니다.

온도 균일성 유지: SIC 코팅지지 링은 우수한 열전도율을 가지며 에피 택셜 성장 동안 균일 한 온도 분포를 제공 할 수 있습니다. 이는 웨이퍼 표면의 열 구배 및 응력을 줄여서 에피 택셜 층의 품질을 향상시키는 데 도움이됩니다.

극도의 화학적 안정성: 에피택셜 성장 과정 중,SiC 코팅 지지 링반응 가스로부터의 화학 공격에 저항 할 수 있으며,지지 고리의 수명을 연장하고 공정의 무결성을 유지할 수 있습니다. 이 화학적 안정성은 오염 위험을 줄이고 반도체 장치의 순도와 성능을 향상시키는 데 도움이됩니다.

정확한 위치: SIC 코팅지지 링은 웨이퍼의 정확한 위치를 유지할 수 있으며, 이는 균일 한 층 증착을 달성하는 데 중요합니다. 이 정확한 위치는 에피 택셜 층의 두께와 품질의 일관성을 보장하는 데 도움이됩니다.

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성:

딜러 반도체:

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요: