(1)1100°C - 1200°C에서의 열역학적 안정성
광전지 열 공정은 최고의 재료 무결성을 요구합니다. VETEK은 고순도 용융 석영을 사용하여 당사 제품이 1100°C ~ 1200°C 범위의 극한 온도에서 지속적인 작동을 견딜 수 있도록 보장합니다.
● 열충격 저항: 매우 낮은 열팽창 계수를 특징으로 하는 보트 본체는 자동 적재 중에 빈번하고 빠른 온도 순환을 겪더라도 기하학적 무결성을 유지합니다.
●구조적 내구성: 우수한 열 안정성으로 장기간 사용 시 처짐이나 변형을 방지하여 로봇식 웨이퍼 핸들링의 정확성(이송 정밀도)을 지속적으로 보장합니다.
(2) 밀리미터 이하의 정밀 슬롯 제어
웨이퍼 표면 전체에 공정 가스(예: 고순도 질소 또는 산소)를 완벽하게 균일하게 분포시키기 위해 모든 슬롯에 정밀 엔지니어링을 적용합니다.
●공기 흐름 최적화: 완벽한 등거리 슬롯 설계로 유동장의 일관성이 보장되어 웨이퍼 표면에 매우 균일한 PN 접합이 형성됩니다.
●스트레스 감소: 특수 화염 연마 또는 광택 처리된 슬롯 가장자리는 웨이퍼 주변의 미세 균열 위험을 크게 최소화하여 파손 제어를 직접적으로 향상시킵니다.
(3)수율 보장을 위한 초고순도
재료 순도는 캐리어 수명에 결정적인 요소입니다. VETEK 석영 보트는 다음을 통해 최고의 성능을 보장합니다.
●프리미엄 소재 선택: 금속 불순물 함량이 극히 낮아 고온 확산시 실리콘 웨이퍼의 2차 오염을 방지합니다.
●화학적 불활성: 당사의 보트는 복잡한 도핑 가스 환경에서 화학적으로 안정적인 상태를 유지하며 공정 가스와의 반응에 저항하여 깨끗한 생산 환경을 유지합니다.
VETEK은 반도체급 정밀도와 광전지 대량 생산 규모를 완벽하게 통합함으로써 차별화됩니다. 우리는 Quartz Wafer Boats의 광범위한 제조 전문 지식을 태양광 산업에 적용합니다.
●전체 크기 호환성: M10(182mm) 및 G12(210mm)를 포함한 모든 주류 태양광 웨이퍼 치수를 지원합니다.
●맞춤형 엔지니어링: 수평 확산로이든 PECVD 장비이든 고객의 독자적인 기술 도면을 기반으로 1:1 구조 최적화를 제공합니다.
●다양한 표면 처리: 당사는 특정 공정 수명 요구 사항에 맞춰 화염 연마(부드러움을 위해) 및 샌드 블라스트(침착 방지를 위해) 등 다양한 마감 처리를 제공합니다.
주소
중국 절강성 진화시 우이현 쯔양 거리 왕다로
전화
+86-18069220752
이메일
anny@veteksemi.com
WhatsApp
Tina
E-mail
Andy
VeTek