SIC 코팅 웨이퍼 캐리어

Vetek 반도체는 고성능 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어 제조 및 공급을 전문으로하며 반도체 산업에 고급 기술 및 제품 솔루션을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.

반도체 제조에서 Vetek Semiconductor의 SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 특히 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 장비에서 화학 증기 증착 (CVD) 장비의 핵심 성분입니다. 주요 작업은 단결정 기판을지지하고 가열하여 에피 택셜 층이 균일하게 자랄 수 있도록하는 것입니다. 이는 고품질 반도체 장치를 제조하는 데 필수적입니다.

SIC 코팅의 부식 저항은 매우 우수하며, 이는 부식성 가스로부터 흑연베이스를 효과적으로 보호 할 수 있습니다. 이것은 고온과 부식성 환경에서 특히 중요합니다. 또한, SIC 재료의 열 전도도는 또한 매우 우수하여 열을 균일하게 전달하고 균일 한 온도 분포를 보장하여 에피 택셜 재료의 성장 품질을 향상시킬 수 있습니다.

SIC 코팅은 고온 및 부식성 대기에서 화학적 안정성을 유지하여 코팅 고장 문제를 피합니다. 더 중요한 것은, SIC의 열 팽창 계수는 흑연의 열 팽창 계수와 유사하며, 이는 열 팽창 및 수축으로 인한 코팅 흘림 문제를 피하고 코팅의 장기 안정성 및 신뢰성을 보장 할 수있다.

기본 물리적 특성SIC 코팅 웨이퍼 캐리어:

생산 상점:

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요: