반도체 필드에서 TAC 코팅 부품의 구체적인 응용은 무엇입니까?

탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅의 물리적 특성

반도체 필드에서 탄탈 룸 탄수화물 (TAC) 코팅의 적용

1. 에피 택셜 성장 반응기 성분

TAC 코팅은 질화 질화염 (GAN) 에피 택시 및 실리콘 카바이드 (SIC) 에피 택셜의 화학 기상 증착 (CVD) 반응기 성분에 널리 사용됩니다.웨이퍼 캐리어위성 접시, 노즐 및 센서. 이러한 구성 요소는 고온 및 부식성 환경에서 내구성과 안정성이 매우 높습니다. TAC 코팅은 서비스 수명을 효과적으로 확장하고 수율을 향상시킬 수 있습니다.

2. 단결정 성장 성분

SIC, GAN 및 알루미늄 (AIN)과 같은 재료의 단결정 성장 공정에서,TAC 코팅도가니, 종자 크리스탈 홀더, 가이드 링 및 필터와 같은 주요 구성 요소에 적용됩니다. TAC 코팅이있는 흑연 재료는 불순물 이동을 줄이고 결정 품질을 향상 시키며 결함 밀도를 줄일 수 있습니다.

3. 고온 산업 구성 요소

TAC 코팅은 저항 가열 요소, 사출 노즐, 차폐 링 및 브레이징 비품과 같은 고온 산업 응용 분야에서 사용될 수 있습니다. 이러한 구성 요소는 고온 환경에서 우수한 성능을 유지해야하며 TAC의 내열성 및 부식 저항은 이상적인 선택입니다.

4. MOCVD 시스템의 히터

TAC- 코팅 된 흑연 히터는 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 시스템에서 성공적으로 도입되었습니다. 전통적인 PBN 코팅 히터와 비교하여 TAC 히터는 더 나은 효율과 균일 성을 제공하고 전력 소비를 줄이며 표면 방사도를 줄여서 무결성을 향상시킬 수 있습니다.

5. 웨이퍼 캐리어

TAC 코팅 웨이퍼 캐리어는 SIC, AIN 및 GAN과 같은 3 세대 반도체 재료의 준비에 중요한 역할을합니다. 연구에 따르면 부식 속도가 밝혀졌습니다TAC 코팅고온 암모니아 및 수소 환경에서는sic 코팅장기 사용에서 더 나은 안정성과 내구성을 보여줍니다.