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EPI 서포터가 설정 한 경우 LPE
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EPI 서포터가 설정 한 경우 LPE

평평한 감수자와 배럴 감수자는 EPI 감수자의 주요 모양입니다. Vetek Semiconductor는 중국의 주요 LPE SI EPI 감수자 세트 제조업체 및 혁신가입니다. 우리는 수년간 SIC 코팅 및 TAC 코팅을 전문으로 해왔습니다. LPE PE2061S 4 "WAFERS를 위해 특별히 설계된 세트. 흑연 물질과 SIC 코팅의 일치하는 정도는 양호하고, 균일 성이 우수하고, 수명이 길고, 이는 LPE (액체 상 에피 택시) 동안 에피 택셜 층 성장의 수율을 향상시킬 수 있습니다. 과정. 중국의 공장을 방문하도록 환영합니다.

Vetek 반도체는 EPI Suppers가 제조업체 및 공급 업체를 설정하는 경우 전문 중국 LPE입니다. 양질의 품질과 경쟁력있는 가격으로 공장을 방문하고 장기 협력을 시작하십시오.


Vetek 반도체 LPE SI EPI 감수자 세트는 고도로 정화 된 표면에 실리콘 카바이드의 미세한 층을 적용하여 생성 된 고성능 제품입니다.등방성 흑연. 이는 VeTeK Semiconductor의 독점 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 달성됩니다.


반도체의 LPE Si Epi 서셉터 세트는 까다로운 조건에서도 안정적으로 작동하도록 설계된 CVD 에피택셜 증착 배럴 반응기입니다. 탁월한 코팅 접착력, 고온 산화 및 부식에 대한 저항성은 열악한 환경에 이상적인 선택입니다. 또한 균일한 열 프로파일과 층류 가스 흐름 패턴은 오염을 방지하여 고품질 에피택셜 레이어의 성장을 보장합니다.


당사의 반도체 에피택셜 반응기의 배럴 모양 설계는 가스 흐름을 최적화하여 열이 고르게 분산되도록 합니다. 이 기능은 오염과 불순물의 확산을 효과적으로 방지하여 웨이퍼 기판에 고품질 에피택셜 레이어를 생산할 수 있도록 보장합니다.


Vetek Semiconductor에서는 고객에게 고품질 및 비용 효율적인 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다. 우리의 LPE SI EPI 감수자 세트실리콘 카바이드 코팅. 이 조합은 고온 및 부식성 작업 환경에서 안정적인 보호를 보장합니다.


CVD SIC 필름의 SEM 데이터

SEM DATA OF CVD SIC FILM


CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성:

CVD SiC 코팅의 기본 물리적 특성
재산 일반적인 값
결정 구조 FCC β상 다결정, 주로 (111) 방향
CVD SIC 코팅 밀도 3.21g/cm³
SIC 코팅 경도 비커스 경도 2500(500g 하중)
입자 크기 2 ~ 10mm
화학적 순도 99.99995%
열용량 640 J · Kg-1·케이-1
승화 온도 2700 ℃
굴곡강도 415 MPa RT 4 점
영률 430 gpa 4pt end, 1300 ℃
열전도율 300W·m-1·케이-1
열팽창(CTE) 4.5 × 10-6K-1


반도체 LPE SI EPI 수용체 세트생산공장

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

반도체 칩 에피택시 산업 체인 개요:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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