LPE PE3061S 6 ''WAFERS 용 SIC 코팅 팬케이크 감수자

전문 제조업체 인 Vetek Semiconductor는 LPE PE3061S 6 ''WAFERS에 고품질 SIC 코팅 팬케이크 감수자를 제공하고자합니다.

LPE PE3061S 6" 웨이퍼용 VeTeK Semiconductor SiC 코팅 팬케이크 서셉터는 반도체 제조 공정에 사용되는 중요한 장비입니다.

LPE PE3061S 6" 웨이퍼용 SiC 코팅 팬케이크 서셉터 제품 특징:

고온 안정성 : SIC는 우수한 고온 안정성을 나타내며 고온 환경에서 구조와 성능을 유지합니다.

뛰어난 열 전도성: SiC는 뛰어난 열 전도성을 갖고 있어 빠르고 균일한 열 전달을 통해 빠르고 균일한 가열이 가능합니다.

부식 저항성 : SIC는 다양한 난방 환경에서 부식과 산화에 저항하는 우수한 화학적 안정성을 보유하고 있습니다.

균일 한 가열 분포 : SIC 코팅 웨이퍼 캐리어는 균일 한 가열 분포를 제공하여 가열 중에 웨이퍼 표면의 온도를 보장합니다.

반도체 생산에 적합: Si 에피택시 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조 공정, 특히 Si 에피택시 성장 및 기타 고온 가열 공정에 널리 사용됩니다.

제품 장점:

생산 효율성 향상: SiC 코팅 팬케이크 서셉터는 빠르고 균일한 가열을 가능하게 하여 가열 시간을 단축하고 생산 효율성을 향상시킵니다.

제품 품질 보장: 균일한 열 분포는 웨이퍼 처리 중 일관성을 보장하여 제품 품질을 향상시킵니다.

장비 수명 연장: SiC 소재는 내열성과 화학적 안정성이 뛰어나 팬케이크 서셉터의 수명 연장에 기여합니다.

맞춤형 솔루션 : SIC 코팅 감수자, SI 에피 택시 웨이퍼 캐리어는 고객 요구 사항에 따라 다양한 크기 및 사양에 맞게 조정할 수 있습니다.

CVD SIC 코팅의 기본 물리적 특성 :

딜러 반도체

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요 :