탄탈 룸 탄화물 코팅 고리

sic 에칭 프로세스탄탈 룸 카바이드 코팅 고리의 적용

탄탈 룸 카바이드 코팅 링은 주로 SIC 단결정 성장 공정에서 사용되며, 전력 장치 및 RF 장치와 같은 반도체 장치의 생산에 필수적인 단계입니다. 탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅은 가혹한 환경, 고온을 견딜 수있는 능력으로 인해 고성능 반도체 적용에 널리 사용되는 재료입니다. 탄탈 룸 카바이드 코팅 고리는 정밀성과 안정성을 유지하면서 가혹한 조건을 견딜 수있는 부품을 필요로하는 섬세한 공정입니다.

연구원들은 흑연 표면에 TAC 코팅을 적용함으로써 산화, 부식, 마모 및 기계적 특성에 대한 저항성을 크게 향상시킬 수 있음을 발견했습니다. 이 코팅 공정은 고온 및 부식성 환경에서 흑연의 전반적인 성능을 향상시킵니다.

고온 및 고정밀 환경

Vetek 반도체의 TAC 코팅 링은 고온 반도체 환경에서 특히 유용한 온도 및 반응성 가스에 노출되는 고온 반도체 환경에서 특히 유용합니다. 그것은TAC 코팅에칭 프로세스 전반에 걸쳐 이러한 물질의 부식 효과로부터 그것을 보호합니다.

SIC 웨이퍼 처리

TAC 코팅 링은 우수한 홀더 및 지원 시스템으로 사용됩니다.sic wafers에칭 과정에서. 정확한 맞춤은 웨이퍼가 올바르게 배치되도록하여 에칭 중에 움직임을 방지하여 표면이 고르지 않거나 불완전한 표면을 초래할 수 있습니다.

고급 반도체 제조의 에칭

탄탈 룸 카바이드 코팅 링은 반도체 산업, 특히 웨이퍼의 무결성과 에칭 프로세스의 품질이 가장 중요한 고급 장치의 제조에서 필요한 정밀도와 품질을 유지하는 데 중요한 역할을합니다. 고품질 TAC 코팅 링은 작업 공정에서 약간의 실수를 피합니다.

중국에서 탄탈 룸 카바이드 코팅 링의 주요 공급 업체이자 제조업체 인 Vetek 반도체 TAC 코팅 링은 반도체 산업, 특히 SIC 웨이퍼의 에칭에 고도로 전문화되고 필수 불가결 한 구성 요소입니다. 내구성과 수명을 위해 설계된이 제품은 Sic Etching 응용 프로그램의 효율성을 향상시키고 운영 비용을 줄이는 훌륭한 솔루션을 제공합니다. Vetek 반도체는 중국에서 장기적인 파트너가되기를 진심으로 희망합니다.

화학적인TAC 코팅의 특성

TAC 코팅의 물리적 특성

반도체탄탈 룸 카바이드 코팅 링 전달 상점