실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터

반도체 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터흑연의 우수한 전기 및 열 전도성을 고온 저항, 내식성 및 실리콘 탄소 세라믹 코팅의 내마모성과 결합하며 가혹한 반도체 제조 환경을 위해 설계되었습니다. 

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터진공 코팅 (증발) 장비에 주로 사용되며 일반적으로 사용되는 방법은 PCD (플라즈마 화학 건조) 및 PVD (물리 증기 증착)입니다. 이 제품은 기술 발전을 촉진하고 반도체 산업의 생산 효율성을 향상시키는 데 중요한 역할을했습니다.우리는 당신과의 추가 협력을 진심으로 기대합니다.

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연의 재료 및 구조적 특징은 다음과 같습니다.:

흑연 기질: 흑연은 높은 열전도율과 낮은 열 팽창 계수로 알려져 있습니다. 온도 변화에 빠르게 반응하고 고온에서 구조적 안정성을 유지할 수 있습니다.

실리콘 탄소 세라믹 코팅: SIC 코팅은 화학 기상 증착 또는 기타 고급 공정을 통해 흑연 표면에 골고루 코팅됩니다. SIC는 매우 높은 경도 및 화학적 부식 저항을 가지고 있으며, 이는 고온 산화 및 부식성 환경으로부터 흑연 기질을 보호 할 수 있습니다.

실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연의 특수 제품 구조 설계 결정반도체 처리 프로세스 에서이 제품의 대체 할 수없는 제품 장점:

효율적이고 균일 한 가열:

열전도율: 흑연의 높은 열전도율은 히터가 필요한 온도에 빠르게 도달하고 유지할 수있게하며, SIC 코팅은 열의 균일 한 분포를 보장합니다. 이는 빠른 열 처리 (RTP) 및 화학 증기 증착 (CVD)과 같은 정확한 온도 제어가 필요한 반도체 프로세스에 특히 중요합니다.

온도 균일 성: 균일 한 열 분포를 통해 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터는 열 응력 및 온도 구배를 효과적으로 감소시켜 가열 공정 전반에 걸쳐 반도체 웨이퍼의 일관성 및 품질 안정성을 보장 할 수 있습니다.

반응 방지 보호:

화학 저항: SIC 코팅의 화학적 차단 저항은 히터가 부식성 가스 및 화학 환경에서 오랫동안 안정적이고 오랫동안 작동하여 흑연 기판의 손상을 피할 수있게한다. 이 특징은 특히 화학 증기 증착 (CVD) 및 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD)과 같은 공정에서 특히 중요합니다.

산화 저항: 고온에서 SIC 코팅은 흑연 기판의 산화를 방지하고 히터의 서비스 수명을 연장하며 장비 유지 보수의 빈도 및 비용을 줄일 수 있습니다.

입자 오염을 줄입니다:

표면 안정성: SIC 코팅은 내성 저항성 일뿐 만 아니라 열 순환 또는 화학 반응으로 인해 입자가 물질 표면에서 떨어지는 것을 방지하여 반도체 제조 중에 발생할 수있는 입자 오염 위험을 줄이고 고소성 공정 환경을 보장합니다.

프로세스 신뢰성과 효율성을 향상시킵니다:

장수 디자인: 흑연의 기계적 강도와 SIC 코팅의 내마모성의 조합으로 인해, 실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터는 가혹한 공정 조건에서 오랫동안 고효율 작동을 유지할 수있어 장비의 전반적인 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

효율적인 에너지 활용: 흑연의 높은 열전도율과 SIC 코팅의 고온 안정성은 히터가 에너지 소비를 줄이면 온도 제어 정확도를 향상시켜 반도체 생산의 전반적인 효율을 향상시킵니다.

기본 물리적 특성실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터:

반도체실리콘 카바이드 세라믹 코팅 흑연 히터상점:

반도체 칩 에피 택시 산업 체인의 개요:

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