실리콘 카바이드 로봇 암

Veteksemicon의 실리콘 카바이드 로봇 암은 가혹한 산업 환경을 위해 특별히 설계된 고급 반도체 처리 솔루션입니다. 고급 고급 실리콘 카바이드 재료 기술을 활용하여 고온, 부식성 환경 및 초고속 진공 조건에서 탁월한 안정성과 내구성을 보여줍니다. 웨이퍼 처리, 에칭 및 증착 프로세스의 핵심 구성 요소로서 로봇 암은 생산성을 크게 향상시키고 유지 보수 비용을 줄입니다.

ⅰ. 기술 매개 변수

ⅱ. Veteksemicon 실리콘 카바이드 로봇 암 코어 장점

1. 극단적 인 환경 공차

우리의 로봇 암은 다수의 고온 증착 공정을 겪는 고유 한 공식 SIC 코팅을 사용하여 1500 ° C의 지속 온도에서 구조적 무결성을 유지하고 혈장 폭격 및 강산 및 알칼리 환경의 부식에 효과적으로 저항 할 수 있습니다. 이것은 기본적으로 노화가 발생하기 쉬우 며 극한의 근무 조건에서 수명이 짧은 전통적인 재료의 통증 지점을 다룹니다.

2. 우수한 기계적 특성

흑연 기판 및 SIC 코팅의 복합 구조를 채택함으로써, 우리는 팔이 매우 가벼우도록 금속 재료의 강성을 훨씬 초과하는 강성을 달성했습니다. 이 설계는 고속 왕복 운동 중에 로봇 암의 변형이 매우 작아 지터를 효과적으로 억제하여 ± 0.02mm 이내의 반복 위치 정확도를 단단히 제어하여 정밀 웨이퍼의 안전한 전송을 보장합니다.

3. 매우 높은 청결

우리는 미립자 오염이 수율의 가장 큰 살인자라는 것을 이해합니다. 따라서, 각 로봇 암은 정밀한 연마 및 특수 표면 처리를 겪어 0.1μm 미만의 표면 거칠기 RA를 초래한다. 코팅은 단단히 부착되어 필질의 위험을 방지합니다. 당사의 제품은 100% 청결 테스트를 거쳐 초고속 청정 룸 요구 사항을 충족하며 최첨단 생산 라인에 사용할 수 있습니다.

4. 긴 서비스 수명

SIC의 고유 한 경도 3000 HV와 우수한 내마모성 덕분에 로봇 암은 수만 건의 모션 사이클 후에도 최소한의 성능 저하를 경험합니다. 그들의 서비스 수명은 일반 세라믹 또는 알루미늄 합금 성분의 여러 배이며 교체 및 유지 보수를위한 다운 타임을 크게 줄여 고객에게 상당한 전반적인 비용 효율성을 제공합니다.

ⅲ. 주요 응용 프로그램 필드

Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm의 생태 체인 검증은 원료를 생산에 적용하고 국제 표준 인증을 통과했으며 반도체 및 새로운 에너지 분야의 신뢰성과 지속 가능성을 보장하기 위해 많은 특허 기술을 보유하고 있습니다. 언제든지 저희에게 상담하십시오.