탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅은 고온 저항, 내식성, 기계적 특성 및 열 관리 기능을 향상시켜 흑연 부품의 수명을 크게 연장할 수 있습니다. 고순도 특성으로 불순물 오염을 줄이고 결정 성장 품질을 향상시키며 에너지 효율을 향상시킵니다. 고온, 부식성이 높은 환경에서 반도체 제조 및 결정 성장 응용 분야에 적합합니다.
탄탈 카바이드 (TAC) 코팅은 반도체 필드에서 주로 에피 택시 성장 반응기 구성 요소, 단결정 성장 키 구성 요소, 고온 산업 구성 요소, MOCVD 시스템 히터 및 웨이퍼 캐리어에 널리 사용됩니다. 높은 온도 저항성 및 부식성은 장비 내구성, 수율 및 안정성을 향상시킬 수 있습니다.
SIC 에피 택셜 성장 공정 동안, SIC 코팅 된 흑연 현탁액 파괴가 발생할 수있다. 이 논문은 SIC 코팅 된 흑연 현탁액의 고장 현상에 대한 엄격한 분석을 수행하며, 여기에는 주로 SIC 에피 택셜 가스 파괴 및 SIC 코팅 고장이 포함 된 두 가지 요인이 포함되어있다.
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