다공성 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅 흑연 링은 PVT(물리적 증기 수송) SiC 단결정 성장을 위해 설계된 특수 열장 구성 요소입니다. 고순도 다공성 흑연과 조밀한 CVD 탄탈륨 카바이드 코팅을 결합하여 고온 안정성, 부식 방지, 제어된 열 분포 및 낮은 오염을 제공합니다. 이 기사에서는 반도체 및 SiC 결정 성장 장비의 구조, 기술적 장점, 애플리케이션, 사양 및 선택 고려 사항에 대해 설명합니다.
GTMS/CTMS 밀폐 밀봉 공정을 목표로 하는 VeTek은 0.01㎡당 1,500개의 조밀하게 배열된 미세 구멍을 갖춘 맞춤형 특수 흑연 고정 솔루션을 제공합니다. 정확하게 일치하는 Kovar 합금 CTE로 10개월에 걸쳐 다중 구멍 미세 가공 문제를 극복하고 미크론 수준의 무결함 제어 및 원스톱 엔지니어링 제공을 달성합니다.
빠르게 진화하는 반도체 산업에서 정밀 소재는 웨이퍼 가공 품질과 생산 효율성을 직접적으로 결정합니다. VETEK은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 TEL용 고성능 고순도 석영 웨이퍼 보트를 제공하여 까다로운 웨이퍼 제조 환경에 탁월한 열 안정성, 내화학성 및 오염 제어 기능을 제공합니다.
유리질 탄소 코팅 흑연 도가니는 반도체 제조, 결정 성장, 진공 열처리 및 고온 재료 연구와 같은 까다로운 응용 분야를 위해 설계된 고급 열처리 구성 요소입니다. 이 문서에서는 구조, 장점, 응용 프로그램 및 선택 고려 사항에 대해 설명합니다. VeTek Semiconductor는 현대 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 유리 탄소 코팅 기술과 정밀 흑연 제조를 결합한 고성능 도가니 솔루션을 제공합니다.