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고순도 서셉터: 2026년 맞춤형 반도체 웨이퍼 수율의 핵심14 2026-03

고순도 서셉터: 2026년 맞춤형 반도체 웨이퍼 수율의 핵심

반도체 제조가 고급 프로세스 노드, 더 높은 집적도 및 복잡한 아키텍처로 계속 발전함에 따라 웨이퍼 수율에 대한 결정적인 요소는 미묘한 변화를 겪고 있습니다. 맞춤형 반도체 웨이퍼 제조에서 수율의 돌파구는 더 이상 리소그래피나 에칭과 같은 핵심 공정에만 있는 것이 아닙니다. 고순도 서셉터는 점점 공정 안정성과 일관성에 영향을 미치는 기본 변수가 되고 있습니다.
SiC 대 TaC 코팅: 고온 전력 반공정에서 흑연 서셉터를 위한 최고의 차폐05 2026-03

SiC 대 TaC 코팅: 고온 전력 반공정에서 흑연 서셉터를 위한 최고의 차폐

와이드 밴드갭(WBG) 반도체의 세계에서 첨단 제조 공정이 '영혼'이라면, 흑연 서셉터는 '백본', 표면 코팅은 중요한 '스킨'이다.
3세대 반도체 제조에서 화학적 기계적 평탄화(CMP)의 중요한 가치06 2026-02

3세대 반도체 제조에서 화학적 기계적 평탄화(CMP)의 중요한 가치

위험이 큰 전력 전자 분야에서 실리콘 카바이드(SiC)와 갈륨 질화물(GaN)은 전기 자동차(EV)에서 재생 가능 에너지 인프라에 이르기까지 혁명을 주도하고 있습니다. 그러나 이러한 재료의 전설적인 경도와 화학적 불활성으로 인해 엄청난 제조 병목 현상이 발생합니다.
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