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태양 광 발전 산업의 발전으로 확산 용광로와 LPCVD 용광로는 태양 전지의 생산을위한 주요 장비이며, 이는 태양 전지의 효율적인 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 포괄적 인 제품 성능 및 사용 비용에 따라 실리콘 카바이드 세라믹 재료는 석영 재료보다 태양 전지 분야에서 더 많은 장점이 있습니다. 태양 광 산업에 실리콘 카바이드 세라믹 재료를 적용하면 태양 광 기업이 보조 자료 투자 비용을 줄이고 제품 품질 및 경쟁력을 향상시키는 데 크게 도움이 될 수 있습니다. 태양 광 분야에서 실리콘 카바이드 세라믹 재료의 미래 추세는 주로 순도가 높고, 강한 하중 수용 용량, 높은 하중 용량 및 저렴한 비용을 향한 것입니다.

이 기사에서는 재료 소스 및 순도 제어, 공정 매개변수 최적화, 코팅 접착성, 장비 유지 관리 및 공정 안정성, 환경 보호 및 비용 제어 등 반도체 공정 중 SiC 단결정 성장을 위한 CVD TaC 코팅 공정이 직면한 구체적인 과제를 분석합니다. 해당 산업 솔루션도 포함됩니다.

SIC 단결정 성장의 적용 관점에서,이 기사는 TAC 코팅 및 SIC 코팅의 기본 물리적 파라미터를 비교하고 고온 저항, 강한 화학적 안정성, 불순물 감소 및 불순물 감소 측면에서 SIC 코팅에 대한 TAC 코팅의 기본 장점을 설명합니다. 비용 절감.

팹 공장에는 여러 유형의 측정 장비가 있습니다. 일반적인 장비에는 리소그래피 공정 측정 장비, 에칭 공정 측정 장비, 박막 증착 공정 측정 장비, 도핑 공정 측정 장비, CMP 공정 측정 장비, 웨이퍼 입자 탐지 장비 및 기타 측정 장비가 포함됩니다.