물리 증기 증착 코팅의 원리와 기술 (1/2) -Vetek 반도체

물리적 과정진공 코팅

진공 코팅은 기본적으로 "필름 재료 기화", "진공 수송"및 "박막 성장"의 세 가지 공정으로 나눌 수 있습니다. 진공 코팅에서, 필름 재료가 고체 인 경우, 고체 필름 재료를 가스로 증발 시키거나 승화시키는 측정을 수행 한 다음 기화 된 필름 재료 입자를 진공으로 운반해야한다. 수송 공정 동안, 입자는 충돌을 경험하지 않고 기판에 직접 도달하거나 공간에서 충돌하여 산란 후 기질 표면에 도달 할 수 있습니다. 마지막으로, 입자는 기판에 응축되어 박막으로 성장합니다. 따라서, 코팅 공정은 필름 물질의 증발 또는 승화, 진공에서의 기체 원자의 수송 및 고체 표면에서 기체 원자의 흡착, 확산, 핵 생성 및 탈착을 포함한다.

진공 코팅 분류

필름 재료가 고체에서 기체로 변하는 다른 방법에 따르면, 진공에서 필름 물질 원자의 상이한 수송 공정은 기본적으로 진공 증발, 진공 스퍼터링, 진공 이온 도금 및 진공 화학 증기 증착의 네 가지 유형으로 나눌 수있다. 처음 세 가지 방법이 호출됩니다물리 증기 증착 (PVD)후자는 호출됩니다화학 기상 증착 (CVD).

진공 증발 코팅

진공 증발 코팅은 가장 오래된 진공 코팅 기술 중 하나입니다. 1887 년, R. Nahrwold는 진공에서 백금의 승화에 의해 백금 필름의 제조를보고했으며, 이는 증발 코팅의 기원으로 간주된다. 이제 증발 코팅은 초기 저항 증발 코팅에서 전자 빔 증발 코팅, 유도 가열 증발 코팅 및 펄스 레이저 증발 코팅과 같은 다양한 기술로 개발되었습니다.

저항 가열진공 증발 코팅

저항 증발 소스는 전기 에너지를 사용하여 필름 재료를 직접 또는 간접적으로 가열하는 장치입니다. 저항성 증발 원은 일반적으로 높은 융점, 저 증기압, 화학적 및 기계적 안정성, 예를 들어 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨, 고순도 흑연, 알루미늄 산화물 세라믹, 보론 질산염 도자기 및 기타 물질과 같은 금속, 산화물 또는 질화물로 만들어집니다. 저항 증발 원의 모양에는 주로 필라멘트 소스, 포일 소스 및 도가니가 포함됩니다.

필라멘트 소스 및 포일 소스를 사용하는 경우, 증발 소스의 두 끝을 너트가있는 터미널 기둥에 고정하십시오. 도가니는 일반적으로 나선형 와이어에 배치되며, 나선형 와이어는 도가니를 가열하기 위해 전원을 공급 한 다음 도가니가 가열을 필름 재료로 전달합니다.

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