TAC 코팅 가이드 링

TAC 코팅 가이드 링의 기능:

정확한 가스 흐름 제어:TAC 코팅 가이드 링전략적으로 가스 주입 시스템 내에 위치합니다.MOCVD 반응기. 주요 기능은 전구체 가스의 흐름을 지시하고 기판 웨이퍼 표면을 가로 질러 균일 한 분포를 보장하는 것입니다. 가스 흐름 역학에 대한 이러한 정확한 제어는 균일 한 에피 택셜 층 성장 및 원하는 재료 특성을 달성하는 데 필수적이다.

열 관리: TAC 코팅 가이드 링은 가열 된 감수체 및 기질에 근접하여 고온에서 종종 작동합니다. TAC의 우수한 열전도도는 열을 효과적으로 소산하여 국소 과열을 방지하고 반응 구역 내에서 안정적인 온도 프로파일을 유지하는 데 도움이됩니다.

MOCVD에서 TAC의 장점:

극한 온도 저항: TAC는 모든 재료 중에서 가장 높은 융점 중 하나를 자랑하며 3800 ° C를 초과합니다.

뛰어난 화학적 불활성: TAC는 암모니아, 실란 및 다양한 금속 유기 화합물과 같은 MoCVD에 사용되는 반응성 전구체 가스로부터의 부식 및 화학 공격에 대한 탁월한 저항성을 나타낸다.

물리적 특성TAC 코팅:

MOCVD 성능에 대한 이점:

MoCVD 장비에서 Vetek 반도체 TAC 코팅 가이드 링의 사용은 다음에 크게 기여합니다.

장비 가동 시간 증가: TAC 코팅 가이드 링의 내구성과 확장 수명은 빈번한 교체의 필요성을 줄여 유지 보수 가동 중지 시간을 최소화하고 MoCVD 시스템의 작동 효율을 극대화합니다.

프로세스 안정성 향상: TAC의 열 안정성 및 화학적 불활성은 MoCVD 챔버 내에서보다 안정적이고 제어 된 반응 환경에 기여하여 공정 변화를 최소화하고 재현성을 향상시킵니다.

개선 된 에피 택셜 층 균일 성: TAC 코팅 가이드 링에 의해 촉진 된 정밀 가스 흐름 제어는 균일 한 전구체 분포를 보장하여 균일 한 결과에피 택셜 층 성장일관된 두께와 구성.

탄탈 룸 카바이드 (TAC) 코팅현미경 단면에: