TaC 코팅링

Vetek 반도체의 TAC 코팅 링은 고품질 흑연으로 제작되었으며 우수한 특성으로 알려진 재료 인 탄탈 룸 카바이드 (TAC)로 코팅되어 반도체 웨이퍼 처리에서 필수적인 구성 요소입니다.

VeTek 반도체 TaC 코팅 링의 주요 특징 및 이점:

●  높은 열 안정성: 탄탈륨 카바이드 코팅 링의 뛰어난 특징 중 하나는 반도체 식각의 중요한 요소인 고온을 견딜 수 있다는 것입니다. SiC 에칭 공정에는 상승된 온도와 반응성 가스에 대한 노출이 포함되며 탄탈륨 카바이드 코팅은 이러한 가혹한 조건에서도 링이 안정적으로 유지되고 구조적 무결성을 유지하도록 보장합니다. 이러한 열 탄력성은 구성 요소가 장기간에 걸쳐 최적의 성능을 계속 유지하도록 보장합니다.

●  향상된 기계적 강도: 고 강성 흑연과 TAC 코팅의 조합은 향상된 기계적 특성을 갖는 성분을 초래하여 TAC 코팅 링이 마모에 강한 내성을 높입니다. 기계적 강도는 SIC 웨이퍼를 단단히 고정 시켜서 정확한 에칭하고 프로세스 동안 변형을 방지하는 데 중요합니다.

●  화학적 부식 저항성: SiC 에칭과 같은 반도체 공정에서 부품은 공격적인 화학물질과 반응성 가스에 노출되는 경우가 많습니다. 탄탈륨 카바이드 코팅은 탁월한 부식 방지 기능을 제공하여 링의 유효 수명을 크게 연장하고 빈번한 교체 필요성을 최소화합니다. 이러한 저항은 구성 요소가 화학적으로 반응하는 물질과 지속적으로 접촉하는 에칭 공정에서 특히 중요합니다.

●  향상된 성능을 위한 우수한 CoatiTaC 코팅: 흑연 고리의 탄탈 룸 탄화물 코팅은 성분의 전반적인 성능을 향상시키는 강력한 표면을 제공합니다. 탄탈 룸 카바이드는 높은 융점 (약 3,880 ° C)과 화학 반응에 대한 우수한 저항성, 특히 반도체 제조 공정에서 일반적으로 발생하는 공격적인 환경에서 유명합니다. 이 탄탈 룸 탄화물 코팅은 제품의 수명을 크게 향상시켜 코팅되지 않은 흑연 고리에 비해 탁월한 내구성을 제공합니다.

●  향상된 기계적 강도: 고 강성 흑연과 TAC 코팅의 조합은 향상된 기계적 특성을 갖는 성분을 초래하여 TAC 코팅 링이 마모에 강한 내성을 높입니다. 기계적 강도는 SIC 웨이퍼를 단단히 고정 시켜서 정확한 에칭하고 프로세스 동안 변형을 방지하는 데 중요합니다.

Vetek Semiconductor는 중국의 주요 TAC 코팅 링 공급 업체, 제조업체 및 공장으로서 오랫동안 반도체 처리 산업을위한 고급 TAC 코팅 링 제품 및 기술 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔으며 맞춤형 제품 서비스를 지원했습니다. Veteksemi는 진심으로 중국에서 장기적인 파트너가되기를 기대합니다.

TAC 코팅의 물리적 특성

Vetek 반도체의 TAC 코팅 링 제품 상점